AST10-D流量控制器.doc

目录 1.产品介绍 2 1.1用途与特点 2 1.2主要技术指标 3 1.3 工作原理……………………………………………………………..3 2.快速安装指导 4 2.1外形及安装尺寸 4 2.2气路接头形式 5 2.3电缆连接插头 5 3.功能操作详解 6 3.1综述 6 3.2常用操作 6 界面说明………………………………………………………………6 按键操作说明…………………………………………………………8 功能表树形结构………………………………………………………9 3.3功能操作详解 10 3.3.1 流量设定…………………………………………………………..10 3.3.2 启动/停止流量累积……………………………………………….10 3.3.3 流量累积值清零…………………………………………………..11 3.3.4 流量小信号切除…………………………………………………..12 3.3.5 流量系数…………………………………………………………..14 3.3.6 流量零点设置……………………………………………………..15 3.3.7 设备轮询地址设置………………………………………………..16 3.3.8 环路输出测试……………………………………………………..17 3.3.9 控制模式转换……………………………………………………..19 3.3.10 设置输出阻尼值…………………………………………………20 4.注意事项 20 4.1 加装过滤器 20 4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 21 4.3 安装位置问题 21 4.4阀口密封问题 22 4.5标定与不同气体的换算.....................................................................22 5.一般异常情况判断和处理 22 6. 保证、保修与服务 23 6.1 产品保证和保修 23 6.2 保修对使用的要求 23 6.3 服务………………………………………………………………….23 附录：气体流量转换系数表………………………………………………....24 附录：通讯协议……………………………………………………………….25 注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。 1.产品介绍 1.1用途与特点 质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。 1.2主要技术指标 1 量程范围 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...） SLM 2 准确度 ±1.5%F.S 3 线性 ±0.5~1.5%F.S 4 重复精度 ±0.2%F.S 5 响应时间 电特性：1sec 气特性：（1~4）sec 6 工作压差 0.1~0.5MPa 7 耐压 3Mpa ,10Mpa 8 工作环境温度 0~70℃ 9 数字量 RS485 MODBUS协议 10 模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选 11 供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA 12 电气连接 DB15 13 漏率 1×10-8SCCSHe 14 底座材质 316L不锈钢 15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 16 气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N?)标定. 质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分) 标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃); 气压-----101325 Pa （760mm Hg） F.S (Full Scale); 满量程值 1.3 工作原理 AST10-D系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力