精密和超精密加工技术复习思考题汇编.doc

精密和超精密加工技术复习思考题答案 第一章 1.试述精密超精密技术发展和尖端技术的重要。超精密加工技术在尖端产品和现代化武器的制造占有非常重要例如：对于导弹来说，具有决定意义的是导弹的，而命中精度是由仪表的精度所决定的。制造惯性仪表需要超精密加工技术和的设备。大规模集成电路的发展，促进了微细工程的发展，并且密切依赖于微细的发展。因为集成电路的发展要求电路中各种元件微型化，使的微小面积容纳更多的以形成功能复杂和完备的电路。因此，提高超精密加工水平以减小电路图案的最小宽度就成了提高集成电路集成度的技术关键。 从机械制造技术看，现在达到怎样的被称为精密超精密加通常将加精度在lμm，加工表面粗糙度在之间的加工方法称为精密加工而将加工精度于，加工表面粗糙度小的加工方法称为超精密加工。 精密和超现在包括哪些领域精密和超精密目前包含个领域： )超精密切削，如超金刚石刀具切削可加工各种镜面。它成功地解决高精度陀螺仪，激光反射镜和某些大型反射镜的加工。 2)精密和超精密磨削研磨例如解决了规模集成基片的加工高精度磁盘等的加工。 )精密特种加工如电子，离子束加工使美国超规模集成电路线宽达到 4.试展望精密和超加工技术的发展。超精密加工两大方面：是高密度高能量的束加工的研究和开发；另方面以维曲面加为主的高性能的超精密机械加工技术以及作为的维超精密检测技术和加工环境的技术。 我