第八章 半导体电子材料 8.1 材料优值的概念 某类器件究竟采用哪种材料更合适? 材料的某些基本性质决定的材料优值,并用此材料优值来定量比较 常用的几种材料优值 约翰逊优值 凯斯优值 巴利加优值 高频器件用材料优值 热性能优值 8.1.1 约翰逊优值 最大输出功率:电压 最高工作频率:载流子的速度 结电容一定时,功率和频率的乘积为常数 频率和功率的乘积 第一材料优值 约翰逊优值或者第一材料优值越大,材料的功率和工作频率越高 8.1.2 凯斯优值 高频器件的尺寸受到热导率的限制,凯斯优值评价材料在制作高速器件时适合程度的量化标准 为材料的相对介电常数 为热导率,反映了材料的热性质对晶体管开关性能的限制,凯斯优值越大,器件尺寸越小 金刚石 30.77 8.1.3 巴利加优值 评价材料用于大功率开关器件的潜力 巴利加优值越大,器件功率越大 GaN 385.8 8.1.4 高频器件用材料优值 器件的最小功耗 第四材料优值F4为材料的高频器件优值 F4 在同一工作频率下,器件的功耗随着优值F4的增加而减少,工作频率越高,下降幅度越大 对同一材料所制器件的最小功耗随着工作频率提高而增大 F4越大,器件的功耗越低 8.1.5 热性能优值 反映了某种材料所制作的功率器件在高温工作状态下的优值,三个热性能优值: 8.2 硅材料的优点 资源丰富、易于提高到极纯的纯度 较易生长出
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