第二章04电子探针浅析.ppt

透射电子显微镜思考题 第五节 电子探针X射线显微分析（EPMA） 一、电子探针仪的构造和工作原理 1、波谱仪（WDS） 分光晶体 2、 能谱仪（EDS）利用特征X-ray能量不同展谱 三、分析方法及其应用 1、定点定性分析 能谱定性分析 波谱定性分析 2、线扫描分折 3、面扫描分析 思考题 * 第二章 电子显微分析 * 1、电子衍射基本公式的应用 2、多晶电子衍射图标定 3、明场像和暗场像的形成 4、衬度、质厚衬度、衍射衬度的定义 主要内容 (1) 电子探针的原理 (2) 电子探针仪的结构 (3) 波谱仪(WDS)、能谱仪(EDS)的原理 (4) 电子探针分析方法 第一台商品电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针仪)是1956年制成的。 电子探针仪是一种微区成分分析仪器，它利用被聚焦成小于1?m的高速电子束(电子探针)轰击样品表面，由X射线波谱仪或能谱仪检测从试样表面产生的特征X射线的波长和强度，进行定性或定量的化学成分。 特点：①不损样，②准确快速，③灵敏度高，④分析范围广（4Be－92U）。 电子束与固体样品相互作用 电子探针信号 电子探针分析的理论依据 由Moseley（莫塞莱）定律λ=K/(Z-σ)2  X射线特征谱线的波