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精密工作台的光栅定位测量系统设计 姓名 孙家欢 班级 07测控（1） 学号 目 录 1国内外现状…………………………………………......3 2系统总体方案设计……………………………………..7 3测量系统设计…………………………………………..10 4测控电路………………………………………………..11 5展望和总结……………………………………………..16 6参考文献………………………………………………..17 1国内外现状 作为精密机械与精密仪器的关键技术之一———微位移技术，近年来随着微电子术、宇航、生物工程等学科的发展而迅速地发展起来。例如用金刚石车刀直接车削大型天文望远镜的抛物面反射镜时，要求加工出几何精度高于１／１０光波波长的表面，即几何形状误差小于０．０５μｍ。计算机外围设备中大容量磁鼓和磁盘的制造，为保证磁头与磁盘在工作过程中维持１μｍ内的浮动气隙，就必须严格控制磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动。特别是到２０世纪７０年代后期，微电子技术向大规模集成电路（ＬＳＩ）和超大规模集成电路（ＶＬＳＩ）方向发展，随着集成度的提高，线条越来越微细化。２５６Ｋ动态ＲＡＭ线宽已缩