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微孔几何特征参量测量系统研究 　　【摘 要】为了解决电火花加工微孔过程中电极磨损问题，提出了一种将接触式和非接触式传感器集成到坐标测量机上测量微孔几何参量的理论和方法，可对喷墨打印机喷嘴、生物医学仪器孔、冷却燃气涡轮机喷嘴和柴油机喷油器喷孔等微孔进行实时测量。介绍了系统的组成和测量原理，讨论了测量步骤。分析了微孔的圆柱度、直径、圆度、直线度和锥度五个几何特征参量，研究了量具的重复性和再现性，以此来评价测量系统的性能，测量结果对于电火花加工微孔过程中的质量控制具有决定性的作用。 　　【关键词】微孔 几何参量 　　一、引言 　　微孔和直径小于0.5mm的小孔广泛应用在喷墨打印机喷嘴、生物医学仪器、冷却燃气涡轮机喷嘴和柴油机喷油器喷嘴上，高速公路上卡车柴油机喷油器上的微孔直径通常介于150μm到200μm之间，深1mm。这些微孔可以通过电火花加工、电解加工、激光打孔或者传统的打孔方式加工而成。由于孔的尺寸小和高的深宽比，传统的坐标测量机和光学显微镜对于微孔几何参量的测量几乎是不可行的。通常测量这种微孔的方法是切出一个孔截面来测量，或是用塑料模具做一个喷孔的复制品。两种方法都只能提供关于喷孔形状和尺寸的有限信息，并且具有破坏性。 　　通常柴油机喷油器上的微孔是利用电火花加工技术实现的，由于加工过程中陶瓷电极丝的磨损会导致不能加工成理想的负锥形孔，这就需要在加工的不同阶段调整过程参