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设备部分内容 纯水系统（1）一次纯水a.结构: 自来水—— 水池 —— 水泵—— 砂碳缸 —— 储水缸—— 水泵—— 快速过滤器1—— 　b.作用 水池—— 沉淀 水泵—— 加压提升 砂碳缸—— 过滤粗杂质、油污 快速过滤器—— 过滤细杂质 精密过滤器—— 过滤细杂质、大分子c 控制 砂碳缸—— 定时反冲，将过滤积下的杂质冲洗排放； 快速过滤器—— 前后加压力表，监察压力差； 精密过滤器——前后加压力表，监察压力差。d .保证  定时更换滤芯.e .使用场合: 三次清洗、四次清洗。 （2）二次纯水 a.结构: 自来水—— 水池 —— 水泵—— 高效过滤器—— 砂碳缸 —— 软水缸—— RO.—— 储水缸  ——水泵—— 过滤器—— 阴阳柱—— 混合柱—— 过滤器 —— 紫外光—— 车间b.作用 水池—— 沉淀 高效过滤器—— 初过滤杂质 砂碳缸—— 过滤杂质、油污 软水缸—— 软化水，去掉一些金属离子 RO.—— 高效过滤，好的反渗透膜达4次蒸馏水 过滤器—— 过滤细微杂质及管道滋生的细菌等 阴阳柱—— 过掉正负离子 混合柱—— 最后清除离子及杂质，使阻值达到要求，一般达18 MΩ 紫外光—— 杀菌及分离一些有机物c 控制 砂碳缸—— 定时反冲； 软水缸—— 定时再生； RO.—— 定时反洗； 阴阳柱—— 定时再生 混合柱—— 定时再生d .保证  定时换砂碳，定时再生软水； 定期换RO 膜，定期换树脂，定期换棉芯。e .使用场合: 一次清洗、二次清洗、返洗、实验室 净化车间系统 1、系统配套（硬件） 鲜风—— ——初过滤—— (中效过滤)—— 风机—— (管道加压)—— 高效过滤—— 车间 回风—— 2、作用 鲜风—— 按一定比例,保证人体舒适度及保证正压 回风—— 将车间受污染的空气循环处理  初过滤—— 将大的杂质去掉 风机—— 加压 高效过滤器—— 将粒子除掉，一般效率要求99.5% 3、控制 鲜风—— 鲜风量； 过滤网—— 定期更换； 高效过滤器—— 测风速、粒子深度。 4、保证  不合格的高效过滤器更换。 5、行为控制: （1）人的穿着 （2）人的行为 （3）避免污染物进入 （4）消除尘源  一般来说，产生粒子，人的行为占80% 另，净化车间分级，见相关COP及WI。三、压缩气 1、系统结构 压缩机——精密过滤器—— 储气罐—— 冷冻除水机—— 交互式干燥机—— 活性碳吸附柱  (5u 1u 0.1u) （ 吸附式干燥机 ） —— 精密过滤器——车间 2、作用 精密过滤器—— 除油、初步除水 储气罐—— 保证气压不受用量波动，冷却除水（油） 冷冻除水机—— 大量除水 吸附式干燥机—— 除水、除油 精密过滤器—— 除吸附式干燥机产生的微粒子。 3、 控制 压缩机—— 气压设定； 冷冻除水机—— 露点设定； 吸附式干燥机—— 油指示器。 4、保证  定期更换过滤器芯， 定期更换干燥机干燥剂及活性碳。 涂胶机 一、结 构  主要部件：涂胶轮、传动结构、加胶结构、过滤器 基本原理： 1、将玻璃放于传动机构上，玻璃经过涂胶轮下面时，将感光胶均匀地涂在玻璃上， 再行预烘使之不会粘尘，取出，往下进入固化；  2、 3、 二、关键地方： 涂胶厚度与调节涂胶高度控制。 曝光机 1、结 构 Power —— Lamp —— 反光碗 —— 透红反紫—— 蜂巢镜—— 折射镜 ——（凸透镜）  —— Mask —— 玻璃 2、作用 Power —— 提供能量| 灯 —— 发光 反光碗—— 聚光 透红反紫—— 去掉红外线成分等 蜂巢镜