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昆明理工大学毕业设计（论文） 调 研 报 告 题 目：三维微纳米精密位移平台及微小力系统设计 学 院： 机电学院 专 业： 机械工程及自动化 年级班级： 10级2班 学生姓名： 李雪洁 学 号： 201010301253 指导教师： 杨晓京 日 期： 2014年4月 昆明理工大学 0 引言 走进二十一世纪，随着微电子技术、航空航天技术、集成电子制造和生物工程等高新技术的发展，制造技术对加工精度和加工质量提出了更高的要求。在激烈的国际竞争中，精密加工和超精密加工技术和装备，直接影响着很多具有重要战略意义的先进技术产品的制造。精密精工甚至是超精密加工技术是先进制造技术领域的前沿课题，它对国防、航空航天、核能以及国民经济各高新技术领域的精密零件的研制具有关键作用，是发展国防以及先进装备制造业的基石，因此受到各工业发达国家的重视。而高质量的微