第7章+高真空技术分解.pptVIP

真空系统零件 阀门 玻璃活栓 带孔的芯子 转动芯子控制气体通路 用封脂密封 小口径 隔膜阀 手轮带动阀杆上下移动 隔膜离开或压紧阀座 真空系统零件 阀门 球阀 两个环状弹性体紧压于一个金属球表面 金属球上有一个大穿孔 手柄转动金属球使穿孔改变方向 O形密封圈密封 蝶阀 阀板的边缘上嵌有O形密封圈 阀杆带动阀板转动 密封圈与阀体紧密接触关闭，900 体积小。结构简单 真空系统零件 阀门 电磁阀 磁力驱动 电磁线圈接通电流，磁力吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开 电磁真空带充气阀 机械泵入口专用阀门 自动放气 真空系统零件 阀门 针阀 微调阀 阀塞为针形，主要用作调节气流量 超高真空阀门 能承受高温 400～450℃ 多次烘烤 放气量小，气密性好 重复性好 流导大 无氧铜阀盖，不锈钢阀体 真空系统检漏 真空检漏的重要意义 抽气过程 极限压强dP/dt 0时 Pu Q/Se 漏气与放气总和Q对有效抽速Se的比值 物理过程：一边抽气，一边不断的漏气，动态平衡 要得到低的极限压强：提高有效抽速、减低漏气量 漏气形成原因 系统微小裂缝：玻璃、金属、金属-玻璃封接、引线封接 肉眼不能直接观察，必须予以找出并修复（更换） 真空系统漏气的判断 抽不到预定的极限真空 材料放气 泵工作不正常 漏气 判断 测量系统压强变化 a: 压强保持P0不变。 既不漏气，也没有放气，泵不