微机械加速度计专题1解剖.ppt

电容式微机械加速度计的研究 主要内容 第一部分：研究背景与意义 第二部分：工作原理与设计 第三部分：制作工艺 第四部分：测试结果 第五部分：总结 研究背景与意义 加速度计是用来测量加速度的仪器 压电式加速度传感器 压阻式加速度传感器 电容式加速度传感器 伺服式加速度传感器 研究背景与意义 地震检波器 汽车：安全气囊、防抱死系统 游戏控制 图像自动翻转 GPS导航系统死角补偿 计步器功能 防手抖功能 闪信功能 硬盘保护 研究背景与意义 灵敏度 分辨率 带宽 量程 非线性度 温度响应 横向灵敏度 稳定性 研究背景与意义 电容式微机械加速度计的优点： 灵敏度高、稳定性好、温度系数小、可通过静电恢复力使其工作在力平衡状态下 变面积式的电容式微机械加速度计的优点：可以保证输出电压与加速度之间的线性度 第二部分：工作原理与设计 一、电容式微机械加速度计的工作原理 二、电容式微机械加速度计的结构设计 电容式微机械加速度计梁结构的选取 常见的梁：双端固支直梁，折叠梁，蟹脚角形梁，蛇形梁和U形梁 U形梁的优点： （a）结构简单，可通过DRIE的方法制作 （b）圆弧部分有利于结构中应力的释放 （c）弹性系数对梁的厚度要求不高 （当梁的厚度与质量块的厚度相同时， 系统的固有频率和梁的厚度无关） U形梁的结构图 弹性系数： R=37.5μm，L=1170μm，W=15μm，梁的厚度H=196μm U形梁的具体尺寸： 电容式微机械加速度计示意图 电容式微机械加速度计的工作原理 在质量块上制作的栅形可动电极，与其下方的玻璃衬底上制作的叉指形固定电极一起构成一对差分电容 电容式微机械加速度计的工作原理 当X轴方向有加速度存在时，质量块在惯性力的作用下发生位移，引起差分电容的变化，通过检测电容的变化，来确定系统所受到的加速度大小 微机械加速度计的动力学模型 系统的固有频率为 代入具体参数得 ?≈1140Hz 微机械加速度计的电学结构设计 栅形电极与叉指形电极构成的差分电容大小为 X轴方向有一个加速度 时，质量块在X轴方向发生的位移为 微机械加速度计的电学结构设计 整个差分电容的变化为 代入数据得到加速度计的位移灵敏度为 加速度计的电容灵敏度为 第三部分：制作工艺 一、微机械加工技术的分类 二、微机械加速度计制作的工艺流程 三、制作工艺存在的问题及解决方法 微机械加速度计制作的工艺流程 （a） （b） （a）在硅片上腐蚀出可动部分的悬浮区域 （b）在玻璃片上制作叉指形的固定电极 微机械加速度计制作的工艺流程 （c） （d） （c）硅片正面制作Al电极引线孔 （d）硅片和玻璃片键合 微机械加速度计制作的工艺流程 （e） （f） （e）在键合片的硅表面制作Al电极 （f）光刻加速度计结构图形，利用Ion Beam刻蚀键合片正面的二氧化硅 微机械加速度计制作的工艺流程 （g） （h） （g）厚胶光刻加速度计结构图形 （h）用深反应离子刻蚀技术刻蚀硅来释放加速度计结构 电容式微机械加速度计的显微照片 DRIE过程中过刻蚀及保护的示意图 （a） 过刻蚀示意图 （b） 采用金属保护防止过刻蚀的示意图 具体保护方法 U形梁结构下方制作与体硅相连的金属层 栅形电极结构下方的玻璃衬底上制作有叉指形电极，不能直接通过制作金属层的方法来保护 在叉指形电极的引线焊盘处引出金属引线与硅相连，该金属引线分布在器件的划片槽内，划片时可以把该引线划断，不会对叉指形电极产生影响 DRIE的刻蚀效果（背面） （a）栅形电极过刻蚀后的SEM照片 （b）栅形电极完全刻穿时的显微照片 微机械加速度计的幅频特性曲线 在大气中测得谐振频率为845Hz、品质因子Q值为169 过刻蚀保护前 微机械加速度计的幅频特性曲线 在大气中测得谐振频率为1078Hz、品质因子Q值为215.6 过刻蚀保护后 该加速度计器件的分辨率 假设此时加速度计的质量块的质量为理论设计值，室温条件下，在大气中工作时由机械热噪声所决定的加速度器件本身的分辨率为 代入数据得，分辨率为