第5章精密加工中的测量技术概论.ppt

5.1 精密测量技术概述 5.2 长度基准 5.3 测量平台 5.4 直线度、平面度和垂直度的测量 5.5 角度和圆分度的测量 5.6 圆度和回转精度的测量 5.7 激光测量 二、圆度仪及其测量精度分析 第6节 圆度和回转精度的测量 1. 圆度仪的工作原理及类型 转轴式适用于测量大型工件，转轴式测量时，工件不动，传感器测头绕主轴轴线作旋转运动，测头在空间的运动轨迹形成一理想圆。工件实际轮廓与此理想圆连续进行比较，其半径变化由传感器测出，经电路处理后，由记录器描绘出被测实际轮廓的图形，或由计算机算出测量结果。转台式与之相反，工件回转，而测头架不动。不易测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度。TALYROND3、TALYROND73、 HYQ-014A、DQR-1 二、圆度仪及其测量精度分析 第6节 圆度和回转精度的测量 1. 圆度仪的工作原理及类型 可测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度、轴线直线度等。 TALYCENTA、TALYROND300、 JCS-042 二、圆度仪及其测量精度分析 第6节 圆度和回转精度的测量 2. 影响圆度仪测量精度因素 1）主轴回转误差 2）工件轴线和主轴轴线偏心引起的误差 3）工件轴线对主轴轴线倾斜引起的误差 4）测量头形状和测头半径变化引起的误差 5）测量力的影响 6）测量头偏立引起的误差 三、主轴回转精度的测量 第6节 圆度和回转精度的测量 将高精度钢球卡在主轴的端部，尽量调整使其同心，然后用测量仪测出其径向跳动。 三、主轴回转精度的测量 第6节 圆度和回转精度的测量 建立如图所示的直角坐标系。O1点的极坐标为x(θ)和y(θ)。s(θ)为被测工件的轮廓形状误差。测微仪A、B、C的输出信号分别为A (θ) 、B (θ) 、C (θ)，则 消去x(θ)和y(θ)得三点法误差分离基本方程为 三、主轴回转精度的测量 第6节 圆度和回转精度的测量 测量时，若取采样点数为N，则令 并将 离散化 最后求得任意时刻机床主轴回转运动误差 1. 单频激光测量 第7节 激光测量 1 2 2. 双频激光测量 第7节 激光测量 1 2 第5章 精密加工中的测量技术 第1节 精密测量技术概述 精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。由于有了千分尺类量具，使加工精度达到了0.01mm，有了测微比较仪，使加工精度达到了1μm左右；有了圆度仪等精密测量一起，使加工精度达到了0.1μm；有了激光干涉仪，使加工精度达到了0.01μm。 目前在基础工业的某些领域，精密测量已成为不可分割的重要组成部分。在电子工业部门，精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如制造超大规模集成电路，目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm，正向0.18μm过渡，2009年的预测线宽是0.07μm。此外，在高纯度单晶硅的晶格参数测量中，以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维、纳米材料等基础研究中，无不需要精密测量技术。 一、精密测量的意义 第1节 精密测量技术概述 三、精密测量的的环境条件 1.恒温条件 2.隔振条件 3.气压、自重、运动加速度和其他环境条件 四、量具和量仪材料的选择 1.根据材料热膨胀系数选择 2.根据材料的稳定性和耐磨性选择 一、精密测量的发展 1.极高精度测量方法的测量仪器的发展 2.精密在线自动测量技术的发展 3.测量数据的自动采集处理技术的发展 一、长度基准和米定义 米制是18世纪法国最早提出的，“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤道这一段弧长的一千万分之一为一米”。1880年国际计量局又制作了30多根铂铱合金的高精度米尺——国际米原器。 1960年10月14日在巴黎通过用氦Kr86在真空中的波长作为长度基准：1m＝1650763.73xKr86的波长。 1983年11月第17届国际计量大会上，批准了米的最新定义。 新定义的内容：米是光在真空中在1/299 792 458 s的时间间隔内所进行的路程长度。 第2节 长度基准 第2节 长度基准 二、量块的检定 量块是由两个平行的测量面之间的距离来确定其工作长度的高精度量具，其长度为计量器具的长度标准。按JJG2056－1990《长度计量器具（量块部分）检定系统》的规定，量块分为00、0、K、1、2、3六级。我国对各类量块的检定按JJG146-1994进行。 为了使用上的需要常将各级精度的量块进行检定，得到量块的实际长度，将检定量块长度实际值的测量极限误差作为误差处理。 第2节 长度尺寸测量 三、工厂自己专用的长度基准 美国穆尔公司经过实践和反复研究，采用圆柱端面规作为