第三章粒子(束)与材料的相互作用解析.pptVIP

2.电声效应 在固体中电子能量损失的40%~80%最终转化为热。 在实际工作中，入射电子束采用扫描工作模式，样品的温升并不严重。 当用周期性脉冲电子束照射样品时，样品中会产生周期性衰减声波（晶格振动），这种现象称为电声效应。 用压电器件和成像技术可将电声效应信息用于成像。 3.电子感生电导 电子在半导体中的非弹性散射产生电子-空穴对。 通过外加电压（电场）可以分离正负电荷，产生附加电导，称为电子感生电导（ENIC）；而p-n结对这些自由载流子的收集作用可以产生附加电动势，称为电子感生伏特。 载流子可以在整个样品中扩散，其中少数载流子的浓度随扩散距离x指数衰减[n?e-x/L，L是扩散长度]。 利用这种效应可以测量少数载流子的扩散长度和寿命。 4.阴极荧光 在本征和搀杂半导体中，电子-空穴可以通过杂质原子能级复合发光，即所谓阴极荧光（CL）。 阴极荧光同样可以在一些有机荧光化合物中产生。 对于不同种类固体，产生阴极荧光的物理过程不同，而且对杂质和缺陷的特征十分敏感。因此，阴极荧光是检测杂质和缺陷的有效方法，常用于鉴定物相、杂质或缺陷的分布。 电子与材料相互作用产生的信号及据之发展起来的分析方法 电子探针 * 第二节 离子束与材料的相互作用 一、散射 二、二次离子 动量和能量转移是离子与固体相互作用的重要特征。 一、散射 离子与固体原子的碰撞可以用台球间的碰撞来描述。 对碰撞过程的约束（来自电子的非弹性散射）可想像为在台球桌面上有一层水，即在两次碰撞之间也有能量损失。 因此，离子的能量取决于碰撞过程和碰撞之间所经历的路程。 1. 弹性散射 离子弹性散射的两大特点： ①散射几率正比于Zl和Z2的平方，因此，当入射离子由H+变为He+时，散射几率增加4倍； ②散射几率正比于1/sin4?，强烈地依赖于散射角2?，2?=90?的散射几率是2?=180?的4倍。 离子-原子碰撞 散射角 一般用Ar离子 散射后离子的能量 碰撞后离子的能量损失与靶原子的质量有关，离子与轻元素靶原子碰撞的能量损失比与重元素靶原子碰撞的能量损失大。 2. 非弹性散射 离子在固体中传播时，由于被电子非弹性散射产生的能量损失率称为固体对离子的阻止功率。 与离子的种类、能量以及样品的成分有关。 * 二、溅射与二次离子 1.离子溅射 能量为E0的入射离子轰击固体时，直接或间接地迫使固体表面许多原子运动，这种过程称为级联碰撞。 当表面原子获得足够的动量和能量背离表面运动时，就引起表面粒子（原子、离子、原子团等）的发射，这种现象称为溅射。 溅射产额（Y）定义为溅射出的粒子数（Ns）与入射离子数目（N0）的比值 Y=Ns/N0 设离子强度J[离子/（cm2.s）]在溅射区均匀一致，J、Y和剥蚀速率vz（单位时间内剥蚀深度）以及靶样品原子浓度N（原子/cm3）之间满足关系 设一个离子在它的动能耗尽前通过直接或级联碰撞使Nd个粒子（原子或离子）发生位移，Nd可表示为 式中，En=0.75E0，是能量为E0(ev)的入射离子与固体中原子碰撞并产生粒子位移的总能量损失，Ed是固体中粒子受到碰撞离开其位置时的能量，典型值为Ed=15ev；常数 =0.8.于是得 2. 二次离子 固体表面原子以离子态发射叫做二次离子。 收集分析二次离子得到二次离子质谱。 可以用于分析所有元素（包括氢和所有同位素）。 * 离子与材料相互作用产生的信号 及据之建立的分析方法 Huaihua University Chemistry and chemical egineering Department Instrumental Analysis Huaihua University Chemistry and chemical egineering Department Material modern analysis method Huaihua University Chemistry and chemical egineering Department Huaihua University Chemistry and chemical egineering Department Material modern analysis method Huaihua University Chemistry and chemical egineering Department Huaihua University Chemistry and chemical egineering Department Material modern analys