TEM等(武汉理工测试技术粉晶电子衍射)解析.ppt

* zr、al、ni、cu。相中有al的可能性很大 * 由电子枪发射出来、能量为几十kV的电子束， * (η:eita) SEM是一种将电子束与物质相互作用所产生的二次电子、背散射电子和X射线进行成像和分析的仪器。 高能电子经会聚透镜和物镜聚焦，在样品表面形成一细电子束。 电子枪 阳极 聚光镜 光栏 聚光镜 物镜光栏 物镜 样品 通常使用多个磁透镜，使电子束交叉斑缩小至5nm～1μm。 电子枪 阳极 聚光镜 光栏 聚光镜 物镜光栏 物镜 样品 调节电子束强度 调节电子束斑大小 扫描线圈磁场驱动电子束在样品表面作光栅式逐点扫描。 二次电子像 二次电子像是扫描电镜中应用最广泛、分辨本领最高的一种图像 10 micron 二次电子 发射系数 theta/ ° 多孔SiC 二次电子像的景深比光学显微镜的大得多。 10 micron 背散射电子像 背散射电子像是低分辨率(60-100 nm)原子序数像； 背散射电子像包含表面平均原子序数分布和形貌特征信息。 电子探针X射线显微分析 EPMA： Electron Probe x-ray Micro-analysis EPMA是X射线波谱仪和扫描电镜相结合的仪器：不但能观察材料的表面形貌，而且能对材料表面的点、线和面进行成分分析。 EPMA成分