半导体传感器2014-1解析.pptVIP

物理型传感器又可以分为结构型传感器和物性型传感器两种。 ①结构型传感器以结构（形状、尺寸等）为基础，利用物理规律来转换被测量。如电容式压力传感器（工作时两极间距发生变化）。结构型传感器强调要依靠精密设计制作的结构才能正常工作。 ②物性型传感器利用某些功能材料本身所具有的内在特性及效应来转换被测量。所以物性型传感器主要依靠材料本身的物理特性、物理效应来实现。 ⑵化学型传感器 利用电化学反应原理，把无机或有机化学的物质成分、浓度等转换为电信号的传感器。最常用的是离子敏传感器，如离子选择电极，核心部分是离子选择性敏感膜。 ⑶生物型传感器 这是利用生物活性物质的选择性来识别和测定生物化学物质的传感器。如免疫传感器。 2.按工作原理分类 这种分类方法是以传感器的工作原理（即输入与输出之间的转换关系）作为分类的依据，如应变式、压阻式、压电式、电容式、霍尔传感器等等，通常能从其名称揣测该类传感器的工作原理，有利于传感器专业工作者从原理与设计上作归纳性的分析研究。 3. 按被测量对象分类 按传感器的被测量对象——输入信号分类，能够很方便地表示传感器的功能，便于用户选择。如温度传感器、压力传感器、气体传感器等等名称。这种分类方法还涉及基本量和派生量的概念，例如力派生出重力、应力、力矩等；位移派生出长度、厚度、旋转角等；速度派生出振动、流量、转速、角振动等；加速度派生出冲击、扭矩、转动惯量等