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国家集成电路设计成都产业化基地 NATIONAL INTEGRATED CIRCUIT DESIGN INDUSTRIALIZATION CAMP·CHENGDU 国家集成电路设计成都产业化基地 部分测试设备收费标准 设 备 型 号 单价（元/小时） 备 注 3D显微镜 NIKON ECLIPSE L150 50 芯片图象自动采集；3D尺寸测量；最大倍数2000倍。 探针台 台湾 EVERBEING BD-6 180 6’×6’真空吸盘；MITUTOYO FS-70显微镜；最大倍数1000倍；探针座精度3micron。 耗 材 型 号 单价（元/支） 备 注 探 针 5μ 150 硬针。 1μ 150 硬针。 0.4μ 200 软针。 注：成都产业化基地按基本收费的0%收取