电弧熔炼操作手册.doc

电弧熔炼操作规程-试用版 准备工作： 开墙上 “控制柜电源”，冷却水柜“启动”，观察循环水灯正常。 检查高压气瓶（氩气）减压阀的气体流量调节阀是否完好，不得大于两个大气压。 打开控制柜“供电电源”，“相序”亮，“冷却水”亮。 万用电表检查腔底和腔壁，腔壁和电弧枪均未短路。 放样： 缓慢开V3放入空气后，按住升降机绿色“上升”按钮升起炉盖。吸尘器吸去杂物，用干净的脱脂棉纱布或者绸布蘸酒精清洗真空室内部及坩埚表面，万用电表检查是否短路。 中间坩埚放入金属钛作为进一步纯化炉内气体之用，其余坩埚则按实验目的装入待熔炼的各合金原料。降下炉盖准备抽真空。 如需吸铸，则在升降机上升炉盖升起时，将接物台对准吸铸模具，完全挨住吸铸模具时，开V1,松动模具与吸铸室的螺丝，使吸铸模具落在接物台上（模具较重，不得砸下）。取出模具酒精擦拭清洗后，再放上接物台，按“上升”，确保接物台上的模具与吸铸室对齐，升完后用螺丝将模具与吸铸室固定好，按“下降”后手动旋转接物台离开吸铸室下方。 注意事项： 1.注意保持洁净的预真空环境，严禁杂物和灰尘落入真空室内或粘在密封圈上；对真空室内零部件的操作要带无尘手套。样品和靶材需严格清洗后放入真空室。 2.升降时注意电弧枪不可打到腔壁和腔底。接物台不可打到仪器其他部件，不用时应旋离吸铸室下方。 抽真空： 确保V1,V2,V3,V4,G1,G2处于关闭状态。检查所有的电源控制开关是否都处在初始关闭的位置，检查是否通水。 启动机械泵“开”，机械泵开始旁抽，打开V1，打开角阀V4（缓慢旋开，注意真空计示数），腔内开始抽真空。 打开真空显示器，待真空达到8Pa以下时，关闭V4，开电磁阀“开”，显示稳定后按分子泵“运行”，示数稳定后旋开闸板阀G1（全部打开后再回旋半圈），抽高真空。真空显示器不用时处于关闭状态。 待真空度达到实验要求时（一般2×10-3），关闭真空显示器。关V1，关G1，关分子泵“停/复”。缓慢打开V2充氩气，并观察压强计示数，至0.05MPa时关闭。分子泵转速降为0时关电磁阀，关机械泵“关”，关闭分子泵电源。 注意事项： 若电弧熔炼炉长时间未用或换氩气瓶后还未使用，则在机械泵旁抽真空后，开V2放入氩气进行洗气。 打开G1闸板阀时，先用手轮摇柄逆时针旋转，当阻力较大时，需要双手握住手轮均匀用力转动，当听到“咔”一声响时，才算打开闸板阀，当阻力较小时，换用摇柄摇动数圈完全打开闸板阀。关闭时操作类同，当遇到较大阻力并突然骤减时才算关闭。 一定要先关分子泵“停/复”，再关电磁阀。 实验中谨慎操作，绝对禁止大气直接进入分子泵，否则引起警报，损坏分子泵