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透射电镜（光路图） ◆透射电镜的电子光学 ◆透射电镜的结构 ◆透射电镜的电子衍射 ◆透射电镜的显微成像 ◆透镜---磁透镜 ◆成像---公式 ◆ 分辨率---景深和焦长 景深:不影响分辨率条件下,电磁透镜物平面允许的轴向偏差。 焦长: 不影响透镜分辨率条件下,像平面可沿轴向平移距离。 照明系统 组成: 电子枪、聚光镜等. 作用: 提供一束高亮度、孔径半角小、 平行度好、束流稳定的电子波 *电子衍射基本公式 电子衍射操作是把例易阵点的图像进行空间转换并在正空间中记录下来。用底片记录下来的图像称为衍射花样。 ◆衍衬成像 衍衬成像----明、暗场像 明场像（BF）——上述采用物镜光栏将衍射束挡掉，只让透射束通过而得到图象衬度的方法称为明场成像，所得的图象称为明场像。 暗场像——用物镜光栏挡住透射束及其余衍射束，而只让一束强衍射束通过光栏参与成像的方法，称为暗场成像，所得图象为暗场像。 暗场成像有两种方法：偏心暗场像（DF）与中心暗场像（CDF） 。 衍衬成像----用途(晶体缺陷分析) 层错 孪晶 位错 第二相粒子 ◆质厚成像 对于非晶薄膜而言原子序数越大、密度越大、样品越厚被散射到物镜光阑外的电子就越多，参与成像的电子强度越低。 * * * * §透射电镜的电子光学 有极靴 Bz 没有极靴 短线圈 透射电镜中心 不同情况下的轴向磁感应强度分布 A C O O’ Z 电磁透镜的聚焦原理示意图 用磁场来使电子波聚焦成像。 焦距总是正的，是一种变焦距或变倍率的汇聚透镜。 ◆成像---像差（球差） P1 透镜 P P2 球差 最小散 焦圆斑 光轴 ◆成像---像差（像散） 消像散器 像散 弱聚焦 P1 P 光轴 P2 强聚焦 最小散 焦圆斑 透镜 ◆成像---像差（色差） 色差 束流稳定的电子束 §透射电镜的结构 电子光学系统 真空系统 供电系统 电子枪 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 照相底板 ◆电子光学系统 照明系统 成像系统 观察记录系统 衬度光阑 选区光阑 聚光镜光阑 样品台 物镜 中间镜 投影镜 消像散器 偏转线圈 中间镜 投影镜 §透射电镜的电子衍射 电子衍射原理图 物镜 背焦平面 中间镜物平面 衬度光阑 物镜像平面 选区光阑 中间镜 中间镜像平面 平行入射束与试样作用产生衍射束，同方向衍射束经物镜作用于物镜后焦面会聚成衍射斑。透射束会聚成中心斑或称透射斑。 衍射花样相当于倒易点阵被反射球所截的二维倒易面的放大投影。从几何观点看，倒易点阵是晶体点阵的另一种表达式，但从衍射观点看，有些倒易点阵也是衍射点阵。 2q 试样 入射束 爱瓦尔德球 倒易点阵 底板 电子衍射花样形成示意图 §透射电镜的显微成像 物镜 中间镜 投影镜 选区光阑 物镜像平面 中间镜物平面 衬度光阑 物镜焦平面 晶体试样各部分满足布拉格反射条件不同和结构振幅的差异。 衍射成像原理（a）明场像（b）中心暗场衍射成像 “应变场衬度”: 晶体内存在第晶格畸变,存在畸变的晶体部分和不产生畸变的晶体部分之间出现衬度差别，这些情况引起衬度。 *