精密仪器设计基础重点分析.ppt

9.5.9 测速法 利用声频信号反射，测定往返时间、确定距离以自动调焦 9.5.10 振动法 基于同轴光束法，离焦量变化转为光束角度变化 大作业——介绍一种调焦方法及应用 主要内容 工作原理 控制框图 优缺点 在实际中的应用 格式，发表论文格式 题目，作者信息，摘要，关键词，正文（引言，主要内容，结论），参考文献 A4纸打印，正文小4号+宋体 可针对某一问题自行设计，有加分哦亲！ * 稳压器——输出较恒定的工作气压。 原理——进气压升高 －膜片变形 －杆4提高 －球形阀门5进气减少 －气室II、III压力下降 －恢复平衡。 喷嘴 环形 单孔，一般使用三个单孔喷嘴 种类 9.5其他自动调焦方法 9.5.1斜光速法自动调焦 工作原理 显微镜二次成像系统 该系统在z轴方向上灵敏度高 若无偏离，虽然有倾斜但不影响测量结果 当离焦和倾斜同时存在时，造成调焦误差。 光电转换及信号处理 原理——采用正弦驱动狭缝振动并对刻线标记的二次象进行扫描。 组成—— ? 显微物镜 L2 ? 振动狭缝 s ? 光电接受器 D 光电信号 ? 刻线象完全偏离狭缝—— 光电信号为恒值，与照明强度有关。 ? 狭缝被刻线完全遮盖—— 理论上光电接收器输出为零。 ? 刻线象在狭缝范围内—— 光电信号为“钟形脉冲”。 当刻线像位于振动狭缝中心时，光电流输出为 离焦信息 在t1和t2时间间隔内分别计数，得到N1和N2， ?N=N1-N2反应了离焦量的大小和方向。 9.5.2 偏心光束法 原理——借助被测物体反射光束，用光电系统检测离焦后光束发生偏离来实现自动调焦。 根据接收面光斑变化所产生光电流变化来对离焦 量进行检测，实现自动调焦。 9.5.3 像散法 原理—— 利用像散光束形状随离焦变化进行自动调焦 △I——反映了被测物面离焦的情况。 误差信号： 执行元件——音圈电机 精度——1μm 9.5.7 刀口法 当离焦时光斑旋转，用二象限光电池探测 9.5.11 临界角法 离焦量为零时恰好发生全反射 9.5.4 比相法 原理——检测光波相位来进行自动调焦 焦前： C1相位超前 正焦： C1、C2同相位 焦后： C2相位超前 相位差 离焦量与相位差的关系 9.5.5 MTF法 光学系统离焦时，其传递函数曲线不同 9.5.6 平滑法 用硬件电路求相邻像素的平滑度，再对整个象面求和 9.5.8 相位法 利用两波长相同但是反向光源，检测信号输出，判断正负离焦情况。 第九章 自动调焦系统 自动调焦（Autofocus）技术是精密仪器中提高仪器精度的重要手段，有着广泛应用。 目的——为了快速地获取高清晰度的图像。 调焦——沿光轴方向调整位置（1 DOF）； 调平——调整成像平面与光轴垂直(2 DOF)。 9.1 概述 原理 焦深 瑞利焦深 物镜的分辨率 光刻物镜，焦深为2μm-3μm 线宽轮廓测量仪，焦深小于1μm 调焦方法 手动——人眼检测，手动调整，效率 低， 精度差 自动——自动检测、自动调整；效率高， 精度高 ，结构复杂，成本较高 自动调焦类型 调焦原理 对焦点及其偏差的直接检测 对物面到透镜的距离检测 离焦信息 直接检测象边缘的光强分布——检测离焦信息 把理想成像位置作为参考面——检测相对信息 自动调焦 9.2 图像处理自动调焦方法 9.2图像处理自动调焦方法 原理——对成像质量进行图像处理以实现自动调焦； 优点——结构简单，精度较高； 缺点——评价参数确定较困难； 核心问题——确定合适的评价参数。 图像清晰判据函数 理想条件下评价参数满足条件： 无偏性——物平面与对准平面重合时参数取极值，ε=0。 单峰性——调焦范围内只有一个极点。 适用性——不仅仅限于某一特殊类别的图像。 重复性——判据函数应具备较陡波峰，即υ要小。 可调性——单调区间要大以保证调焦范围，即η要大。 耐用性——对光强波动、图象噪声等不过分敏感。 图像处理法： 阈值积分法 高频通带法 微分法 9.2.1阈值积分法 原理——在离焦情况下，对成象模糊程度进行判断，获取离焦信号，经过电路处理得到不同图象灰度分布。 规律——正焦时灰度值最大，离焦时灰度下降。 9.2.2高频通带法 原理——基于频域检测方法，其图象轮廓锐度和细节复现性取决于图象的 高频 成分。 途径——采用高通滤波器，适当选择带宽