第4章激光衍射测量范例.pptVIP

衍射 单缝测量原理 单缝衍射的特点： 1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级明纹宽度的两倍 2）次级明纹的光强随级次的增加而逐渐减小3）若光程差不等于 λ/2 ?的整数倍，亮度介于最明与最暗之间。 4）条纹的方向平行于缝的方向 5）暗条纹β=kπ 即 单缝测量的原理 当θ不大时则有: 单缝测量的原理 由此可以得出以下结论: 测定L 、Xk的大小,就能计算狭缝宽度 测定b 、Xk的大小, 就能计算L的大小 如果Xk变化, L已知, 反映了狭缝的变化,可实现在线测量 由公式可知,暗条纹间距为固定值 所以通过测量条纹间距,也可以测量以上各值 1、间隙测量法 间隙法主要运用单缝衍射原理，通过测量某一暗条纹的距离， 通过公式，计算出被测量的大小。 主要分： 尺寸比较 形貌测量 c. 传感器 可以测量应力/应变，温度，压力，加速度等 1、间隙测量法 测量出某一暗条纹的位置后,利用衍射公式,计算出变化量的多少. 也可以通过计数某一位置(衍射角度固定), 衍射条纹数的变化条数计算 第一种,为绝对测量法 第二种为增量测量法 1、间隙测量法 基本的间隙法测量装置: 2、分离间隙法 利用参考物和试件不在一个平面内所形成的衍射条纹进行精密测量的方法被称为分离间隙法 原理图: P1出现暗条纹的条件: 2、分离间隙法 P2出现暗条纹的条件: 2、分离