第5章微传感器和微执行器范例.ppt

静电旋转微型马达 静电式微执行器实例(1) 静电激励已经被用于实现旋转马达结构。基本思路是制做一个能自由转动的中间转子，四周布以电容极板，以合适的相位驱动，就可使转子转动。 “尺蠖” 执行器 静电式微执行器实例(2) 使用一个能弯曲的末端带有微小垂直挡板的金属板，当在金属板和衬底中掩埋的导体两端加电压时，金属板就向下弯曲，并将挡板向前推进一小段距离。电压消失时，由于挡板和绝缘层表面摩擦力的不对称，导致一定程度的运动“调整”，因而产生了金属板净位移。 静电光开关 静电式微执行器实例(3) 凹槽绝缘 硅 静电梳齿驱动器 光纤 氧化硅 输入1 输入2 输出2 输出1 驱动器作用时 的直通状态 输入1 输入2 输出1 输出2 驱动器不作用 时的反射状态 光纤槽 光纤槽 采用了一双面反射的垂直微镜来实现开关。将微镜与一根长梁相连，长梁由梳状电极静电驱动。只要施加一个电压短脉冲，微镜在长梁的带动下就会作进入或弹出光路的水平运动，实现光路切换。 静电致动微泵 静电式微执行器实例(3) 入口 出口 驱动腔 泵薄膜 检测电极 泵腔 绝缘层 驱动单元 阀体单元 Zengerle R的静电致动微泵 微泵的尺寸为，由静电驱动膜片、被动阀、进口和出口组成。泵用峰值为150~200V、频率从0.1Hz到10kHz的电压脉冲驱动。该泵的最大流速可达到250-85