第7讲_电子光学基础_111028范例.pptVIP

二、电子在电磁场中的运动和电子透镜 a.回忆X射线管的原理 b.电子束产生装置：电子枪（后面结合电镜的内容讲） c.电子束如何聚焦？－－首先要了解电子束的在电场和磁场中的运动 静电透镜等位面及电子轨迹 静电透镜的缺点： 需要很强的电场，在低真空度下导致镜筒内击穿和弧光放电 现代电子显微镜用磁透镜替代！！！ 磁透镜及电子在磁场中的运动 会聚原理 磁透镜与光学透镜聚焦比较 色差 电磁透镜的景深和焦长 四、电子与固体物质的相互作用（重点掌握） 相互作用产生的电子信号 初级电子：背散射电子、透射电子、吸收电子 次级电子：二次电子、俄歇电子、特征能量损失电子 背散射电子：电子射入试样后受到原子的弹性和非弹性散射，散射角大于90度（大于50eV）从试样表面逸出的电子 透射电子：穿透试样射出的电子。弹性散射电子（10－20nm厚），成像比较清晰 吸收电子：通过多次非弹性散射能量消失殆尽的电子，不产生其他效应 二次电子：入射电子与原子核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级或使其逸出试样表面形成的电子（低于50eV ） 俄歇电子：二次电子的一种。表面原子内壳层的电子被电离后，处于激发态的原子恢复到基态时发射出的电子 电子信号产生的深度和广度 信号的应用 1、成像进行显微结构及形貌观察。如SEM（二次电子）、TEM（透射电子）； 2、晶体结构信息。通过电子衍射及衍射效应获取点阵类型、常数