第1扫描电镜开题报告.pptVIP

扫描电镜的特点 1.成像立体感强 2.放大倍数变化范围大 3.分辨率高 4.对样品的辐射损伤轻、污染小 5.对观察的样品具有广泛的适应性 6.可进行多种功能的分析 7.可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的质量 8.可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验，观察在不同环境条件下的相变及形态变化等。 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的工作原理是由电子枪发射出来的电子束（直径约50μm）在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm的电子束，聚焦在样品表面上。在第二聚光镜和物镜之间的偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，电子和样品相互作用，产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再通过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。 背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。由于它的产额能随样品原子序数增大而增多。所以不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。 电子能谱 二次电子一般都是在表层5一10nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系，所以不能用来进行成分分析。 样品本身要保持电平衡，这些电子信号必须满足以下关系： ip=ib+is+ia+it