MEMS技术及关产品介绍.docVIP

MEMS技术及相关产品介绍 目录 1、MEMS的定义 2 2、MEMS的历史 2 3、MEMS的发展趋势 3 （1） 传感MEMS技术： 3 （2） 生物MEMS技术： 4 （3） 信息MEMS技术： 4 （4） 微型生物芯片： 5 （5） 微型机器人： 5 4、MEMS技术相关产品 6 MEMS加速度计 6 MEMS陀螺仪 7 MEMS麦克风 8 MEMS传感器 9 5、展望 10 MEMS技术及相关产品介绍 摘要：本文简述了MEMS技术的定义，回顾了MEMS技术的发展历史，列举了MEMS技术的发展趋势，并且重点介绍了MEMS相关产品，及对MEMS技术的展望。 关键词：MEMS、微机电、机械系统、微细加工、传感器。 1、MEMS的定义 微电子机械系统即MEMS，是Micro?Electro?Mechanical?Systems的缩写，也可简称为微机电系统。MEMS是一类器件的统称，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米，1微米可是要比人们头发的直径小很多。微电子机械系统MEMS通常是一个包含有动能、弹性形变能、静电能或静磁能等多个能量域的复杂系统，主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是微电子系统与其它微型信息系统（各种能进行信息与能量传输和转换的系统）相结合的产物，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 2、MEMS的历史 MEMS技术发展至今已经历40余年，开辟了一个全新的技术领域和产业，就像近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。 MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻曲线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的片上实验室生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。 3、MEMS的发展趋势 MEMS的发展趋势绝不局限于纯粹的器件物理范畴，而将是发展成一门多学科交叉的尖端学科：MEMS涉及电子、机械．材料、制造、信息与自动控制、物理、化学与生物等多学科，并集约当今科学发展的许多尖端成果。 传感MEMS技术： 在MEMS技术研究领域中，传感MEMS是指采用微电予和微机械加工技术制造出来的、特征尺寸至微米级、具有将感受量转换居电信号的器件和系统，包括：速度、加速度、压力、温度、湿度，气体、磁、光、声、生物、化学等传感MEMS。它是人类探知自然界的触角，是各种现代化装置中的神经元。信息技术是20世纪人类社会发展的重要资源和动力，作为信息采集技术的传感器技术、作为信息传输技术的通讯技术、作为信息处理技术的微处理器技术已成为现代信息技术的三大支柱。作为现代高新技术的传感器MEMS技术是现代传感器技术的重要发展方向。80年代后期MEMS技术的E速发展，极大的推动了微传感器技术和微执行器技术的发展，采用MEMS技术制作的微传感器由于体积小、重量轻，成本低，功耗低．高可靠、易于批量化生产、易于集成化和多功能化，是各种自动化装置发展和现代武器装备必不可少的关键技术，其应用领域十分广泛，因而受到世界各发达国家的高度重视。 MEMS传感器 生物MEMS技术： 生物MEMS技术是一类应用MEMS加工技术制造的化学／生物微型分析和检测芯片或仪器。它把生化检测过程中的进样．反应．分析，检测等功能通过在固相基片上的微反应器（微流体腔和微流体管道）实现。借助于MEMs加工技术制备的微阵列芯片是生物MEMS研究的重要研究。药物缓释芯片以及其它与生物医学诊断与治疗相关的芯片式微型装置和仪器也是生物MEMS的研究内容。 生物MEMS是一种典型的MEMS器件及系统，具有体积小、成本低，可标准化和批量化生产等特点。在功能上它具有获取信息量大、分析效率高、样品用量少，操作简便．可实现生物和化学信息的实时自动化检测等特