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Port 端口CST承载机台Transfer 搬运Fence 框架Robot 机械手Turn Align 旋转、对位Rubbing Cleaner 清洗机Entrance Conveyor 传送WET Conveyor 传送Detergent Back Brush 滚刷清洗Hyper Mix Rinse 混合清洗Cavitation Jet 气泡清洗High pressure Shower 高压水清洗Air Knife 空气刀Infra-Red 红外线加热装置Cooling Position冷却单元Fan Filter Unit 风机过滤单元Cooling Dry Air 干燥压缩空气Buffer Conveyor 出口OIC(Operator Interface Client) 操作界面客户端Schedule 生产计划Operation 生产线运营Machine 设备管理Material 材料管理Transfer 物流管理Alarm 报警管理Inquiry 信息查询CST(Cassette) 装Glass或Panel的盒子LOT 批次，在生产中用来表示一CST 的玻璃的命名Hold 上锁Compose 合并Split 拆分Scrap 报废Reserve 预约Pair LOT配对LOTAuto 自动Home 回原点Pause 暂停ETC 更换物料 Test run 走EN的LOT PM 设备维护E/Time 工程师占用设备的时间J/C (Job Change) 更改RecipeIDLE 非设备自身原因出现的停机DOWN 设备自身故障出现的停机Nozzle 喷嘴TFT Thin Film Transister 薄膜晶体管LED Light Emitting Diode 发光二极管Particle 生产线中存在的灰尘Stage 设备基台Seal 一种封框L胶,作用是使上下玻璃基板密着,切断液晶分子与外界的接触,确保制品的信赖性,并维持上下玻璃基板之间的盒厚.Step Stop 做完这一步停止Drawing 涂胶B/F buffer 缓冲Mark align 标志排列Dummy 挤胶Manual 手动Input 输入Auto run error 在自动运行下发生错误Coater 涂布Home Position 原点位置Origin Search 原点找寻DI water 纯净水,去离子水Head 头Equipment 设备Monitor 监控器Production 生产Recipe 参数CDA (cooling dry air) 压缩干燥冷空气Online 连机Offline 脱机Camera 相机Buzzer Stop 报警停止Gap 间隙Sensor感应器Bay作业区Chamber槽Manual Mode手动模式Semi Auto Mode半自动模式Auto Mode 自动模式Reset 异常恢复CELL 液晶填充制成Turn Over 翻转Turn Align对位LCD ( Liquid Crystal Display) 液晶显示器Table 基板USC 超声波清洗Lamp 灯Dispenser 涂布Inspection 检测Robot 机械手，Glass传送的工具Servo on 吸附Data editor 编辑和显示recipe里面的内容。File manage recipe之间的copy/复制/删除，以及recipe的重命名Pass operation 按下则不对量产glass 进行drawing。Pattern 单步执行Pattern的涂布作业。History 查找检测过的TFT胶的涂布情况Exhaust 排出GlassALL OK 手动判定PANEL 全是好的Retry 重新执行此步动作LC Dispenser：液晶滴注工程LC：Liquid Crystal：液晶LC Bottle：液晶瓶MPP：Micro Plunger Pump 微型活塞泵Dummy Cup：Dummy杯Measuring Cup：测量杯Balance：天平Stage：工作台Drop Sensor:液晶滴下感应器MPP Syringe Z-Axis Limit sensor：Z轴Syringe管移动位置限制感应器Miss Drop：漏滴MPP Syringe Stand：MPP保管架Frame Cover：设备外罩UPS 不间断电源MPP Stepping Motor Controller MPP控制