QCM石英晶體微天平的基本原理解析.docVIP

测量原理: 通过测量芯片的频率变化测量镀上材料的质量。 石英晶体的频率飘移与附加上的质量的关系： 附加上的质量增加，振荡频率降低。 晶体振荡频率受下列条件影响：沉积在芯片上的质量 芯片的温度变化 材料的应力 材料的附着性 质量可通过频率精确测量 质量 = 密度 X 面积 X 厚度 密度的准确性是影响厚度计算误差的原因之一 密度条件： 镀膜速度 材料结构 合金比例 成膜温度 应力影响 温度影响： 晶片的最佳工作温度：25-60度 最重要的是保证镀膜过程中的温度稳定 目前世界主流的QCM仪器厂家：Q-SENSE(Omega auto, E1, E4, 最贵，用户也最多), SRS（QCM200, 第二受欢迎，仪器价格低很多）,SII（QCM934, 日本人的，国内用的少，品质不会差），另外国产的是CHI（价格便宜，用户反馈一般）. 做QCM仪器的最关键部件QCM芯片，因为各个仪器配套芯片不能通用，目前主要还是由各仪器厂家配套，国外专业的芯片厂家很少，国内的大概10年前起步，因为市场小，参与的企业不多，代工起家的深圳仁路晶体算是开始较早较专业的厂家。 主要应用： Applications ImmunosensorsSorption sensorsMoisture analyzersParticulate monitorsContaminati