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畢業專題期末報告 繞射光學元件之製作 班級：機電四B 學號：495370024 姓名：李宗翰 學號：495370685 姓名：劉嘉仁 學號：495371006 姓名：林伯彥 指導教授：趙崇禮 博士 目錄 序論 1-1前言．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4 1-2研究動機．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4 文獻回顧與理論基礎 2-1 週期性磨料噴射微加工之研究．．．．．．．．．．．．6 2-2 探討在表面粗糙度改變具有研磨性水的速度所造成的影響．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7 2-3 漂浮拋光的技術，利用新工具，微型磁性群組．．．．．8 第三章 實驗器材．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9 第四章 拋光圖表粗分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．15 第五章 報告心得．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25 第一章 序論 1.1前言 在這個科技發達的時代裡，很多東西都越做越薄、越做越精緻，這時物件的拋光就顯的特別重要了，而拋光最主要目的就是有效去除表面破壞層並達到良好的表面粗糙度，且因拋光的材料去除量都是極小的，通常都是留到最後一個步驟做的。拋光的方法是透過極細微的粒子碰撞產生的材料移除量來達到降低表面粗糙度、形成較光滑的平面，現今產業的超精密加工已廣泛運用，不但增進產品的表面品質，對後續產品的運用也提供良好的配合度。 而另一個課題就是拋光元件的運用，傳統光學元件因體積龐大、功能較單純，已逐漸被繞射元件所取代，繞射元件可有效的簡化光學系統，進而減小所需要的體積，但繞射元件有一個缺點就是須滿足色散的效果，所以對外型精度要求很高，否則效果會大打折扣。日常生活中，光學元件的運用已越來越頻繁越來越重要，其中以影像產品最多，另如相機、螢幕、手機、影印機、掃瞄器、光碟機等等產品，而這些玻璃鏡片大概可分為折射元件、反射元件、繞射元件、混合元件，其每一種的使用方式都不太相同，尤其近年來非球面光學元件使用已越來越頻繁，需求量也越來越大。現在光電產業中，光學鏡片、鏡頭已是不可或缺的零件組、並在精密加工的市場上，這種高價值、高價格的產品特性是近年全球光學元件市場膨脹的主要動力，現階段來看，傳統光學元件如透鏡等產品尺寸大、重量重，傳統機械已慢慢走向微機電的領域了，如何把傳統的元件變成微小的、高效率易制成的光學元件已是刻不容緩的課題了，在傳統光學設計中加入繞射的光學元件能增加功能性與減少系統元件的數量，使繞射光學元件不僅可做為光電系統中之成像元件，更可廣泛運用於日常生活中。 1.2動機 隨著科技日新月異，無論哪種產品都做得愈來愈小、愈來愈方便，然而要達成產品的縮小、簡便化，許多廣泛運用的拋光法相對是不可或缺的，本論文研究的重心，在於對圓柱型試件以及繞射光學元件進行表面品質改善的精密拋光加工。目前的較廣泛的拋光法，例如浮動拋光法(Float polishing)、液動壓拋光法(Hydrodynamic polishing)、彈性發射加工(EEM)及化學機械拋光(CMP)等，上述拋光法技術雖然已將當成熟而且能夠提供良好的表面粗糙度及精度，但是卻都只是限制於平面拋光的設計。更新穎的產品，單單平面拋光已經無法解決所有問題，本論文針對圓柱精密拋光系統能使超精密車削與磨削後的工件表面進行改善，相信圓柱型試件這門技術若更成熟，配合著平面拋光技術相輔相成，必定能使產品在許多方面得到進一步的改善。對於光電、微機電等產業，會是個相當大的動力。 第二章 文獻回顧 2-1 週期性磨料噴射微加工之研究 常見的加工機械小孔的方法為磨料噴射精微加工，碰撞後的磨料堆積在孔的底部，預防工件在研磨時的連續的直接碰撞，導致加工效率隨著加工技術的進步而減少。這篇論文介紹一種新的磨料噴射微加工的方法，稱為週期性磨料噴射微加工(MAIJM)。此方法中有一段時間是沒有磨料的，而是由噴嘴注射氣流，此種無磨料的氣流可以吹散任何堆積於孔的磨料。其使用實證模型來開發影響MAIJM的加工參數，且以正交矩陣和多變量線性回歸和實驗為基礎估算設計而成其孔的形狀，以進一步的實驗來證實實驗模型的有效性且藉由比較來預測模型實驗結果。  2-2 探討在表面粗糙度改變具有研磨性水的速度所造成的影響 現在的研究都專注在AWJ切割的表面粗糙度，這項研究解釋了在粗糙的地方改變水的速度和工件的厚度所造成的影響，就實驗數據而言，影響表面粗糙度的組成材料是被評估的，研究也做出在工件上AWJ的評估，具有相同的組成但有不同的厚度。在AWJ研究中，純鋁、鋁-6061鋁合金、黃銅-353、AISI-