扫描电镜及能谱分析实验指导书.docVIP

扫描电镜及能谱分析实验指导书 实验目的 1. 结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理，加深对扫描电镜结构及原理的了解 2. 选用合适的样品，通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察，了解扫描电镜图像衬度原理及其应用； 3.了解能谱仪的原理结构和工作方式。 扫描电镜的基本结构和特点 扫描电子显微镜利用聚焦电子束在样品表面逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点，是进行样品表面研究的有效分析工具。 扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多，一般约在10~30 kV，实验时可根据被分析样品的性质适当地选择，最常用的加速电压约在20 kV左右。 扫描电镜的图像放大倍数在几十倍到几十万倍之间，可以实现连续调整，钨灯丝电子枪的分辨能力较低，安装场发射枪的扫描电镜可以放大到三十万倍。放大倍数等于荧光屏上显示的图像长度与电子束在样品上扫过的实际长度之比。扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同，其作用仅仅是提供扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号，前者用于显示表面形貌衬度，后者用于显示原子序数衬度。 扫描电镜的基本结构可分为六大部分：真空系统、电