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基于MEMS的非致冷红外成像技术 目录 基于MEMS的非致冷红外成像技术 1 1、原理简介 1 2、基于MEMS的非致冷红外成像技术的读出方式 2 2.1、电学读出方式 2 2.2、光学读出方式 4 2.2.1、光学读出方式系统介绍 4 2.2.2、中科院研究的新型非制冷红外成像技术 5 2.2.3、尼康公司基于针孔滤波原理的光学读出方式 7 2.2.4、迈克耳逊干涉型光读出红外成像器件 8 2.2.5、法布里—泊罗干涉型光学读出热成像系统 8 2.2.6、其他读出方式（AFM、衍射等） 10 3、相关参数及总结 10 参考文献 11 1、原理简介 热型（非致冷）红外探测器主要是基于红外辐射的热效应--像素(内含敏感元)吸收红外辐射导致其温度上升，从而引起敏感元的某些可测量的物理特性的变化，通过测量这种变化完成红外探测。这些可测量的变化包括:电阻变化、电容变化、热释电效应、Seebeck效应、气体压力变化、液晶色变和热弹性效应等等，目前已取得成功的包括电阻测辐射热计、热--电容型红外焦平面阵列、热释电探测器、铁电测辐射热计和热电堆红外探测器等。 基于MEMS的非致冷红外成像技术是基于热致形变原理。双材料微悬臂梁吸收红外辐射后，温度升高，由于材料热膨胀系数的差异，悬臂梁会产生与吸收的红外辐射功率成正比的弯曲变形（如图1所示），进而引起某种物理量的变化，比如电容、位移、偏