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微机电陀螺仪介绍学 生：陆煜桦学 号：201521080111指 导 老 师 ：黎业飞本文贡献分析微机电陀螺仪的工作原理、科里奥利力原理、介绍微机电陀螺仪结构以及动力学、介绍了微机电陀螺仪现代应用（重点军事上运用）及研究发展趋势。国外微陀螺技术发展迅猛，目前达到的性能指标已经远远超过最初对微陀螺性能的预计值。但随着研究的深入和应用需求的扩展，对微机电陀螺提出了低成本、高精度和高过载、高动态等要求。需要在结构、工艺、组装及温控和信号处理等方面不断创新和改进。微机电机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术。涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）工作原理：利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力旋转中的陀螺仪会对各种形式的直线运动产生反映，通过记录陀螺仪部件受到的科里奥利力可以进行运动的测量与控制。科里奥利力原理图科里奥利力原理图微机械陀螺仪原理如果物体在圆盘上没有径向运动，科里奥利力就不会产生。因此，在 MEMS 陀螺仪的设计上，这个物体被驱动，不停地来回做径向运动或者震荡，与此对应的科里奥利力就是不停地在横向来回变化，并有可能使物体在横向作微小震荡，相位正好与驱动力差 90 度。微机电陀螺仪的结构公开的 MEMS 陀螺