现代电子显微分析第一章 电子光学基础.pptVIP

CC—色差系数； ?E/E —电子束能量变化率，取决于加速电压的稳定性 和电子穿过样品时发生非弹性散射的程度 稳定加速电压和透镜电流可减小色差。 将散焦斑的半径折算到原物面的半径ΔrC: 稳定度达2X10-6 色差系数和球差系数均随透镜激磁电流的增大而减小。 1.4.4 电磁透镜的分辨率 电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差来决定。 （1） 已知衍射效应对分辨率的影响 ∵ α很小通常10-2～10-3rad （1） （2）像差对分辨的影响 球差： 像散： 用消像散器 色差： 稳定电源 像差决定的分辨率主要是由球差决定的。 存在一个最佳孔径半角 令 即 代入（1）得电磁透镜的分辨率为 另一种解释： 1.5 电磁透镜的景深和焦长 1.5.1 景深 任何样品都有一定厚度。 理论上，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合，像平面上获得该层平面的理想图像。偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，从而在像平面上产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。 如果失焦园斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜分辨率不会产生影响。 景深是当像平面固定时(像距不变),能维持物像清晰的范围内,允许物平面(样品)沿透镜主轴移动的最大距离Df。 取 Δr0=1 nm, ?=1