材料测试分析方法-e13-1(xps).pptVIP

典型XPS谱 X轴——电子束缚能或动能 Y轴——光电子的强度 N（E）/E 《材料分析测试方法》 XPS特征 《材料分析测试方法》 背底上叠加一系列谱峰，峰的束缚能是各元素的特征，直接代表原子轨道能级 构成背底的有轫致辐射引起的光电子发射及非弹性散射电子 本底随束缚能增加而升高 S电子是单峰，p、d、f电子产生双峰 化学位移 《材料分析测试方法》 定义：当原子处于不同的环境时，其内层电子的束缚能发生变化，在XPS谱上表现为谱峰的相对于纯元素峰的位移，称为化学位移。 引起化学位移的因素： 不同的氧化态、形成化合物、不同的紧邻原子数、不同的晶体结构等 应用：确定元素的化学环境，推测原子可能处于的化学环境和分子结构 物理位移的影响 《材料分析测试方法》 W及其四种氧化物的4f电子XPS谱 (c)W18O49 （紫色） (d)W20O58 （蓝色） (e)WO3 （黄色） (b)WO2 （棕色） 深度剖析 变角XPS分析法 离子束溅射深度剖析法 《材料分析测试方法》 Analyzer e- X-rays d q q = 0° q ≈ 80° d Analyzer e- X-rays q 《材料分析测试方法》 五、XPS在材料分析中的应用 无机物的鉴定 有机物的鉴定 分析化学 表面化学 催化研究 电子材料研究 薄膜功能材料研究 纳米材料研究 《