材料现代s分析测试方法- xps-aus.pptVIP

§5.4 俄歇电子能谱分析（AES） 二、俄歇电子能谱分析 2. 定量分析或半定量分析 俄歇电子强度与样品中对应原子的浓度有关，据此可以进行元素的半定量分析。 　影响俄歇电子强度的因素很多，除与原子的浓度有关外，还与样品表面的光洁度、元素存在的化学状态以及仪器的状态（谱仪对不同能量的俄歇电子的传输效率不同）有关，谱仪的污染程度、样品表面的C和O的污染、吸附物的存在、激发源能量的不同均影响定量分析结果，所以，AES不是一种很好的定量分析方法。它给出的仅仅是半定量的分析结果。 定量分析方法有以下两种： (1)标准样品法 纯元素标样法：在相同条件下测量样品中元素X和纯元素X标样的同一俄歇峰，俄歇电子信号强度分别为Ix和Ixstd，则：Cx ＝Ix / Ixstd §5.4 俄歇电子能谱分析（AES） 二、俄歇电子能谱分析 2. 定量分析或半定量分析 多元素标样法：用多元素标样（各元素浓度均已知）代替纯元素标样，标样的元素种类及含量与样品相近。设Cxstd为标样中元素X的原子分数，则：Cx ＝Cxstd Ix / Ixstd 因需提供大量标样，所以，实际分析中标准样品法应用不多。 (2)相对灵敏度因子法 该法是将各元素产生的俄歇电子信号均换算成纯Ag当量来进行比较计算。具体过程：在相同条件下测量纯元素X和纯Ag的主要俄歇峰强度Ix和IAg，