01 料厂精馏车间精馏岗位作业指导书2013.5.13.docVIP

目 次 目 次 I 前 言 II 硅料厂精馏车间岗位作业指导书 3 1 范围 3 2 规范性引用文件 3 3 术语和定义 3 4 质量标准、生产规模、原辅料及能源消耗 3 5 工艺原理 5 6 主要参数控制 10 7 过程控制(含设备操作) 11 7.2.6 罐区 19 7.2.6.1精TCS贮罐90-TK117A/B/C的开车 19 7.2.6.2精TCS/DCS贮罐90-TK123的开车 20 7.2.7 尾气废液回收系统 21 8事故处理 35 9主要设备规格、原理及操作 38 附 录 A 47 附 录 B 49 附 录 C 51 附 录 D 56 附 录 E 57 附 录 F 60 前 言 本负责起草部门：。 主要起草人：李仕勇、赵生艳。 由昆明冶研新材料股份有限公司审核。 由昆明冶研新材料股份有限公司批准。 为第一次起草编制，有不完善的内容将在今后陆续制定、修订。 由昆明冶研新材料股份有限公司负责解释。 本适用于昆明冶研新材料股份有限公司TCS精馏工序的工艺技术管理、操作及运行维护。TCS精馏工序主要包含合成TCS的精馏及尾气回收氯硅烷的提纯。LXE三氯氢硅工厂操作指导手册 单位 电子级 三氯氢硅 ％W ≥99 硼 ppbw ≤200 磷 ppbw ≤50 金属 ppmw ≤5