【初稿】大学生创新创业记录册###.docVIP

大学生创新创业训练项目过程记录册 项目名称：原子层沉积（ALD）制备超薄HfO2介质工艺研究 项目编号： 17 负 责 人： 杨帆 其他成员： 刘伊薇、李鑫 学院系部： 光电信息学院 指导教师： 李世彬 执行时间： 2014 年 9 月8日 至 2015 年 4 月 21 日 填写说明 《大学生创新训练项目研究过程记录册》是检查项目研究进展情况的主要依据，也是评价项目研究成果的重要依据之一。项目负责人必须认真、及时、准确、真实地记录项目研究的主要过程。 《大学生创新训练计划项目研究过程记录册》主要记录项目研究进展情况。如：成功的经验、失败的原因、与指导教师的交流、团队合作、经费使用明细等方面内容，要求每2周记录1次。 项目负责人及成员应定期请指导老师查阅项目研究过程记录，与指导老师进行交流和研讨。 中期检查时项目负责人需将《大学生创新训练项目研究过程记录册》交指导教师检查和签字后，再交学院（系、部）工作委员会联系人。 项目结束后，由项目负责人将《大学生创新训练计划项目研究过程记录册》及相关材料提交指导教师检查和签字后，再提交学院（系、部）联系人进行核实、存档保管。 本记录册平时由项目负责人保存。 1.经费使用明细 日期 经费使用摘要 使用金额（元） 2014.9-10 打印阅读文献 50 2014.10 置购ALD金属有机源TMA、TEMAH 3000 2014.11 置购ALD系统气源普氮、氩气 2014.11 购买实验用的硅衬底 2014.11 购买实验用的化学试剂（无水乙醇、过氧化氢、丙酮等） 2015.4 置购ALD系统气源普氮、氩气 2015.4 购买实验用的化学试剂（无水乙醇、过氧化氢、丙酮等） 2015.4.10 XPS测试费用 400 2015.4.17 XPS测试费用 200 2015.4.20 原子力显微镜测试费用 80 2.项目研究过程记录 时间 过 程 记 录 活动内容：进行项目初期安排 活动过程： 小组成员在讨论实验项目内容后，初步了解对ALD原子层沉积技术的了解，与老师交流沟通项目实现的目的、价值等，在与老师的沟通下，了解相关方面的前沿知识，确定项目内容以及项目研究方案，讨论项目实现的必备要素与环节，留以思考讨论项目的具体时间规划以及相应的实验研究安排，考虑到学院、老师的时间以及小组成员课程的时间，规划每周项目进行的时间。 项目记录人：刘伊薇 2014 年 9 月8 日 活动内容：老师讲解项目安排及相关知识。 活动过程： 小组成员在通过前期对ALD原子沉积的大概了解后，与项目负责老师进行沟通交流，由老师向我们讲解本创新基金项目的大致内容，规划项目的时间进度，解答初步了解过程中小组成员的问题。 在一段讨论后，由项目负责老师以及师兄师姐为我们进行一定的知识讲解，向我们传送相关论文与资料，帮助我们做好前期知识的学习，为实验打好基础。 项目记录人：杨帆 2014 年 9 月 23日 活动内容:理论知识学习心得的分享以及分工安排。 活动过程： 1.这一阶段主要是理论学习。在小组会议中，小组成员就前期阅读的大量文献以及自己的理解进行各自阐述，并且就有疑问的地方进行了交流，互相帮助解答疑难，在讨论中发现存在的问题，一些能够通过查阅网上资料解决，遗留问题则记录下来在下次与老师沟通过程中解决。小组讨论有助于解答疑惑、增长知识、清晰概念，从而对实验理论以及ALD的研究现状有了更全面更深刻的认识，为之后的实验打下了良好的理论基础。 2.小组进行分工，将项目任务分成了汇总文献，文献查找，以及实验记录等大块，由成员共同分担。 项目记录人：李鑫 2014年10 月 8 日 活动内容：就前期阅读文献、学习资料的问题进行咨询 活动过程： 小组成员整理好前期自