第九章 单晶硅制备-直拉法.ppt

2） 晶棒晃动 晶棒晃动：晶棒的中心没有在熔液的中心，显示出在熔液中摆动。 可能原因： 1埚位太高； 2上下对中或水平有问题； 3提拉头动平衡有问题 如何处理： 根据实际情况，报告主管或工程师，适当降低晶转和埚转，停炉之后检查对中、水平情况和提拉头动平衡。 3） 晶棒扭曲 晶棒扭曲：晶棒不直，出现S形。 原因：1 熔液径向温度低； 2 上下对中和水平有问题； 3 埚位太低； 4 氩气流不均匀； 5 籽晶阻尼套问题。 出现扭曲一般如何处理： 观察扭曲程度，适当提高埚位。如果扭曲较严重，退出自动，手动拉晶：适当降低拉速，增加补温，并使直径适当变大，待扭曲情况改善后把直径变回正常，重新进入自动。 待停炉之后查找扭曲根本原因！ 4） CCD状态 操作工需要经常查看CCD状态，观察相机工作是否正常，且相机取样范围需要有一定的余量，以防止晶棒出现晃动和扭曲时相机失控。 等径时的CCD取像 5 ）真空状态 CZ过程炉内的压强一般在12-20Torr，全自动炉会根据设定压强，自动调整真空蝶阀开度，使炉内真实压强接近于设定值。 6 ）冷却水状态 冷却水对单晶炉的正常运行起着非常重要的作用。各单晶炉都有冷却水异常报警，但员工还需要经常用手试炉子法兰处的温度，一旦出现异常，及时报告给单晶设备。 7） 单晶是否断棱 即使是全自动单晶炉，也不会出现断棱的报警，因此，操作工需要经常观察单晶状况，一旦发现出现断棱，及时按照作业指导书要求操作。 什么是断棱？ 100单晶会有四条轴对称的“棱线”，在生长过程中，一旦四条中的一条或几条棱线消失，也就意味着单晶变成了多晶，CZ过程失败，称为单晶断棱。 10 、收尾 收尾的作用是在长晶的最后阶段防止热冲击造成单晶等径部分出现滑移线而进行的逐步缩小直径过程。晶体等径生长完毕后，如果立刻将晶体与熔液分离，热应力将使晶体产生位错排和滑移线，并向晶体上部延伸，其延伸长度可达晶体直径的一倍以上。 为避免这种情况发生，必须将晶体的直径慢慢缩小，直到接近一尖点才与液面分离，这一过程称为收尾。收尾是提高产品实收率的重要步骤，切不可忽略。 此后，将生长的晶体升至副炉室中，待冷却后拆炉。这样，便完成了单晶生长的一个周期。 单晶棒（右端锥形为收尾的形状） 11、 冷却和拆炉 停炉之后，必须按作业指导书的规定冷却一定时间，然后进行取棒和开炉操作。 注意事项： 取棒的动作一定要稳，防止籽晶突然断裂； 开炉后晶棒和石墨部件的温度还比较高，小心烫伤； 剪断籽晶时一定要确保晶棒落实，并且一手按住重锤， 防止籽晶线向上跳动而脱槽； 剪籽晶后的断面须磨平，以防伤人。 热场部件轻拿轻放。 1、硅的基本性质 数值 单位 原子符号 Si 原子序数 14 分子量 28.085 晶体结构 金刚石 熔点 1420 ℃ 密度（固） 2330 Kg/m3 密度（液） 2530 Kg/m3 原子密度 5×1022 个/cm3 熔化热 1.8 kJ/g3 金刚石晶胞结构 重要的原、辅料 原生纯多晶 单晶边皮和头尾 料状纯多晶 埚底料 硅片 西门子法、改良西门子法和流化床法生产的纯多晶，太阳能级纯多晶要求纯度99.9999%以上。 单晶的头尾；圆棒切成方棒而产生的边角。 单晶生产最后剩余在坩埚中的原料。杂质较多。 切片及以后的工序中产生的废片。 其它原料 2、原料 3 、籽晶 按截面分为：圆形和方形； 按晶向分为：〈111〉〈110〉〈100〉； 按夹头分为：大小头和插销。 注意事项： 籽晶严禁玷污和磕碰； 晶向一定要符合要求； 安装时一定要装正。 插销型籽晶： 通过插销固定籽晶。 大小头籽晶：通过大小头处变径固定籽晶。 单晶炉拉晶籽晶 规格 直径（mm） 长度(mm) 位错 晶向偏差 方籽晶 10×10或12×12 100-120 无 100?±?1o 圆籽晶 12 100-120 无 100?±?1o 4、 石英坩埚 主要检查事项： 1未熔物； 2白点和白色附着物； 3杂质（包括黑点）； 4划伤和裂纹； 5气泡； 6凹坑和凸起； 7坩埚重量。 两个检查步骤 用单晶炉拉制单晶硅时，需要给单晶炉内通入高纯氩气作为保护气体。如果氩气的纯度不高，含有水、氧等其他杂质，会影响单晶生产，严重时无法拉制单晶。 项目 要求 1 露 点 ≤-70 ℃ 2 氧含量 ≤0.5ppm 3 纯 度 ＞99.999% 5、 氩气 检测设备