扫描电子显微镜样品制备讲义.ppt

扫描电子显微镜样品制备 小组成员：裘英华，张国荣，薛晓波， 储钢，金志华 2010-1-6 扫描电镜相比透射电镜的一大优点：样品制备简单。 但不意味着样品制备可以随意进行。忽视样品制备，往往影响检测结果。 1.扫描电子显微镜原理 二次电子对检测器的作用取决于样品表面的性质，当电子激发样品表面突起部位时，会有大量二次电子进入检测器，而表面凹陷处则只有少量二次电子进入，所以可以显出反差突出、明暗清晰的三维图象。而且它的成像焦深较长，图象的立体感强，和肉眼所见差别不大。 制备扫描电子显微镜的样品也先要经过固定、脱水等处理，以免在真空条件下变形失真，为了获得较多的二次电子，表面要喷涂重金属和碳原子。 2. 对样品要求 不会被电子束分解。 在电子束扫描下热稳定性要好。 能提供导电和导热通道。 大小与厚度要适于样品台的安装。 观察面应该清洁，无污染物。 进行微区成分分析的表面应平整。 3. 介绍几种样品制备方法 块状样品 粉末样品 生物样品 3.1 块状样品制备 块状试样扫描电镜的试样制备是比较简便的。 对于块状导电材料，除了大小要适合仪器样品座尺寸外，基本上不需要进行什么制备，用导电胶把试样粘结在样品座上，即可放在扫描电镜中观察。 对于块状的非导电或导电性较差的材料，要先进行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图象质量。并可防止试样的热损伤。 试样与样品座的