氢稀释对高生长纳米晶硅薄膜晶化特性的影响.docVIP

本文由飒飒小燕子贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 第 $) 卷 第 ! 期 #%%1 年 ! 月 ( 6%$$%$ !%%%(#1%6#%%16$) %!) 物 理 学 报 R:SR .-T+U:R +UVU:R GW=0 $), !, VW0 X/4E/YZ, #%%1 #%%1 :?,40 .?Z70 +WB0 氢稀释对高速生长纳米晶硅薄膜晶化特性的影响 ! #) 邱胜桦!) 陈城钊!) 刘翠青!) 吴燕丹!) 李 平!) 林璇英!) 黄 ( !)韩山师范学院物理与电子工程系,潮州 ( #)汕头大学物理系,汕头 $#!%!) #) 余楚迎#) $!$%() (#%%) 年 月 !% 日收到; #%%) 年 * 月 ( 日收到修改稿) 以 +,- 与 -# 为气源, 采用射频等离子体增强化学气相沉积技术, 在较高的压强 #(% ./) 研究氢稀释率对 ( 下, 纳米晶硅薄膜的生长速率和晶化特性的影响 0 实验表明, 薄膜的晶化率, 晶粒尺寸随着氢稀释率的提高而增加, 当