兰宝石衬底检测标准可润张卫兴概述.ppt

图 D.5 合格表面 注：蓝宝石单晶抛光衬底片使用原子力显微镜测试 的原子力（AFM）显微形貌。 附录 E (资料性附录)蓝宝石结晶学图 蓝宝石结晶学图见图E.1。 * 兰宝石衬底检测标准 1、国际SEMI M3-1296兰宝石单晶抛光衬底规范 2、国际SEMI M3.2-912INCH兰宝石衬底标准 3、国际SEMI M3.4-913INCH兰宝石衬底标准 4、国际SEMI M3.5-92100MM兰宝石衬底标准 5、国际SEMI M3.6-883INCH回收兰宝石衬底标准 国际SEMI标准中的5标准 国家标准 GB/T13843兰宝石单晶抛光衬底片 以上要求是对兰宝石晶片总的质量要求。 即:晶体纯洁、尺寸规范、表面平整光滑、 无损伤层、晶格完整、晶片洁净 具体要求如下： 1、蓝宝石晶片的材料内在质量要求： a-AL203的纯度：＞99.999% 表面取向精度:＜±0.5° 位错密度:＜1×105个/CM2 a a 45° 45° C轴(投影) 参考面 用于GaN生长的蓝宝石晶片 2、蓝宝石晶片几何尺寸的要求： 参考面定位误差：＜±1° 直径误差： ＜±0.05mm 厚度误差： ＜±0.03mm 弯曲度： ＜20um 平整度: ＜1０um 抛光面粗糙度Ra: ＜0.5nm 3、蓝宝石晶片表面质量要求： 崩边：弧长＜1mm 麻点：不允许存在 桔皮：不允许存在