光伏-RENA设备工艺资料.pptVIP

DRYER2功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 AIRKNIFE ON----手动模式开启风刀 AIRKNIFE RESET----风刀复位 风刀状态 COOLINGUNIT功能 COOLINGUNIT功能 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING----给冷水机加自来水（冷水机上有液位显示） DRAINING----冷水机排水（自来水）‘ 冷水机状态 RENA传动功能 RENA传动功能 传动状态(3个) 同时控制3个传动 RENA添加桶描述 三个液位传感器,低于低液位传感器或高于高液位传感器机器都会报警,低于中液位传感器并且高于低液位传感器系统开始加液,加液时添加桶上方的气动阀打开(颜色变为绿色)。 下图为刻蚀槽添加桶画面 RENA添加桶描述 碱槽添加桶 HF槽添加桶 RENA添加桶描述 HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过添加桶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从添加桶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路不同,添加桶也和其他三个添加桶不同. RENA设备：常见问题及解决方案 序号 所遇问题 检查项目 解释说明 解决方案 1