扩散操作规程概念.ppt

扩散操作屏作业 磷扩散工艺过程 清洗 初次扩散前，扩散炉石英管首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA6h清洗石英管。做TCA前先要确认管路的正确. 清洗开始时，若在手动状态下要先开O2，再开TCA；清洗结束后，先关TCA，再关O2。 清洗结束后，进行饱和，待扩散。 饱和 每班生产前或长时间不生产时，须对石英管进行饱和。 炉温升至设定温度时，以设定流量通小N2（携源）和O2，使石英管饱和，约60分钟后，关闭小N2和O2。 初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时，需使石英管在1050℃通TCA2小时后通源饱和1小时以上。(2+1) 装片 戴好防护口罩和干净的乳胶手套，将清洗甩干的硅片从传递窗口取出，放在净化装片台上。 用石英吸笔依次将硅片从硅片盒中取出，插入石英舟。 每一槽装2片,若发现硅片表面脏将干净的一面做扩散面. 送片 用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，缓缓推入扩散炉。 注意不要把扩散和钝化的石英制品混用. 回温 打开适当的工艺号进行扩散，石英浆暴露在空气中的时间尽量短。 扩散 注意监视屏幕上的气体流量图,发现异常第一时间通知相关人员处理. 关源，退舟 扩散结束后，计算机自动关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下一轮扩散。 如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽