薄膜生长基础第二次课.pptVIP

薄膜生长基础Fundamentals of Thin Film Growth 薄膜生长基础?? 引言 薄膜材料由于其在微观结构、宏观性能等方面所具有的特殊性, 在科学技术发展和人们的日常生活中发挥着越来越重要的作用。 薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的科技工作者, 而且受到各国高技术产业界的广泛关注。 薄膜材料研究已经渗透到物理学、化学、材料科学、信息科学乃至生命科学等各个研究领域, 薄膜科学已经逐渐发展成为一门多学科交叉的边缘学科。 薄膜生长基础?? 引言 从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起, 薄膜的制备与应用已经有一千多年的发展历史。 从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜材料则起始于本世纪五十年代。 直到本世纪80年代, 薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科。 促使薄膜科学迅速发展的重要原因是薄膜材料的强大的应用背景、低维凝聚态理论的不断发展和现代分析技术的出现及分析能力的不断提高。 薄膜生长基础?? 引言 薄膜生长基础?? 引言 薄膜生长基础?? 引言 薄膜生长基础?? 引言 薄膜生长基础?? 引言 薄膜生长基础?? 引言 薄膜生长基础?? 引言 薄膜科学的研究内容： 薄膜生长理论和薄膜制备技术； 薄膜的结构、成分和微观状态； 薄膜的宏观特性及其应用。 薄膜生长基础?? 基本概念 表面相? 气固界面 薄膜生长的本质是气体-固体相变 薄膜生长基础?? 基本概念 表面相? 热力学观点 1877年，Gibbs引入表面相的概念。他定义表面相是介于固相和气相之间的一个相，它的体积为零，即表面相是一个数学表面。 可逆过程： 偏移平衡态： 薄膜生长基础?? 基本概念 表面相? 热力学观点 系统巨势：?=F-G=-PV 薄膜生长基础?? 基本概念 表面相?统计力学方法 薄膜生长基础?? 基本概念 表面相?统计力学方法：点阵气体模型 薄膜生长基础?? 基本概念 表面成核 ?cos ?= ?’- ?” 薄膜生长基础?? 基本概念 薄膜生长基础?? 基本概念 微观观点 Adatom diffusion(吸附原子扩散) h = ? exp(Eb/kT) Large scale(大规模) Long time scale(长时间) Temperature effects(温度效应) Bond energy(键能) Diffusion barrier(扩散势垒) 薄膜生长基础?? 基本概念 薄膜生长基础?? 基本概念 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 薄膜生长基础?? 生长机制 * 武汉科技大学 材料与冶金学院 金属材料工程系 在信息显示技术中的应用 在信息显示技术中的应用 在信息存贮技术中的应用 在日常生活中的应用 在计算机技术中的应用 在计算机技术中的应用 薄膜研究是以薄膜制备为起点的, 因此, 薄膜生长理论和薄膜制备技术是薄膜材料研究的基础。 气 固 液 气 固 P V 气 固 固 固 气 气 气 固 ?’ ? ?” ? 宏观观点 薄膜的生长模式取决于吸附质的表面自由能和界面自由能是否大于基体的表面自由能 Vanode=0.0 V Vanode=40.0 V Morphologies of Au/Au(001) films at various incident energy low medium high 100K 300K 400K 450K Morphology of Au epitaxy films at various temperature, The coverage is 0.2 (a) 100 K (b) 300 K (c) 400 K (d) 450 K Kinetic MC simulation of irreversible modeling h=vexp[-(ED+nE)/kT] Kinetic MC simulation of Pt(111) epitaxy Homoepitaxy on Fe(110) 在Fe(110)面的均相外延生长 Kinetic MC simulation Kinetic MC simulation of Al growth on amorphous substrates * *