真空技术物理范畴与应用.docVIP

真空与 本文档由【中文word文档库】提供，转载分发敬请保留本信息； 中文word文档库免费提供海量范文、教育、学习、政策、报告和经济类word文档。 （一）真空技术物理的研究内容 真空科学与技术作为独立的科学体系是从20世纪初开始的。当时由于电子器件，原子能，航天技术对真空环境的需求，极为迫切，从而大大的推动了这一技术的发展。除了作为获得，检测，真空系统及其元件等产品的自身发展借以配合许多科学创新的条件和手段外，由于现代科学技术的相互交叉与渗透，又极大的丰富了真空科学与技术的内涵。尤其是“超高真空”，“超清洁表面”的出现，揭示了自然界中许多新颖的现象和规律，其中纳米技术的发展就是很好的例证。什么是真空这门科学的理论范畴，要搞清楚这个问题，首先不能离开真空技术的基础内容．从事真空技术工作的人都知道，一个典型真空设备的主要部分如图所示．它包括容器(是气体来源)、真空泵(抽气手段)、真空规(检测真空度的工具) 、真空管道（气体流动通路）、真空阀门等部分。 要想使容器成真空状态，就要遇到抽气手段和气源这一矛盾． 一方面要用真空泵来抽出容器内的气体分子以降低容器内的气体压强，另一方面容器本身由于各种原因(如脱附、解溶、渗透、漏孔等等)，源源不断地放出气体分子．可见真空技术的本质就是要用抽气手段战胜气源，从而使矛盾向压强降低方向转化．地面上要实现真空环境，就要