第5章 电容式传感器概述.ppt

* 第5章 电容式传感器 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 5.3 电容式传感器的等效电路 5.4 电容式传感器的测量电路 5.5 电容式传感器的应用 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.1.1 基本结构 　平板电容的结构： 式中: ε—电容极板间介质的介电常数； 　　 S —两平行板所覆盖的面积； 　　 d —两平行板之间的距离。 电容量： （5-1） ε=ε0εr，其中ε0为真空介电常数，εr为极板间介质的相对介电常数。 可测量：面积、距离和介电常数。 5.1.2 变极距型电容传感器 结构： 　当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，初始电容量C0为 ： （5-2） 电容量与极板间距离的关系 ： 　若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有： （5-3） 若Δd/d01时，分母约为1，则： （5-4） 此时C与Δd近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。 　一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间， 极板间距离在25~200μm 的范围内。最大位移应小于间距的1/10， 故在微位移测量中应用最广。 5.1.3 变面积型电容式传感器 结构： 平移式变面积型电容传感器： 　当动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx时，则电容变化量