ch纳米技术及其应用.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * AFM即原子力显微镜是一种应用非常广泛的微纳测量设备，其通过测量针尖原子与样品表面原子的相互作用力来记录样品表面形貌，如果利用AFM针尖与样品表面发生相互作用，则可以达到加工的目的，是AFM成为一种精度较高的加工方法。 图为AFM阳极氧化制作的纳米线；图为AFM纳米操纵在硅表面制作的汉字；图为采用AFM进行高端光刻掩模版的修复，图中用AFM针尖去掉了一个多于的毛刺；图为一个微纳加工机床的夹具（holder），AFM在微纳切削加工方面也有广泛的应用。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电容测量法 微悬臂构成平行平板电容器的一块平板，而另一平板则平行地位于微悬臂的上方，微悬臂的偏转值将通过测量该电容器的电容值的变化得到。 电容法是常用微悬臂偏转检测法中精度稍差的一种。 AFM纳米加工技术 用AFM电子束在抗刻蚀聚合物材料上通过聚合反应产生的连续的纳米细线结构（美国斯坦福大学） AFM所具有的原子分辨的能力，使它在尺寸小于100纳米的结构加工中具有十分明显优越性 原子力显微镜（ AFM）加工 掩模版修复 微纳机械加工 纳米操纵 AFM