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太阳电池制造 ——工艺流程、工艺原理及工艺卫生 太阳电池制造过程（流程图） 太阳电池制造过程（一） 硅片装盒 硅片腐蚀去除硅片损伤层（和形成绒面） 漂洗干燥 太阳电池制造过程（二） 磷扩散形成p-n结 等离子体边缘腐蚀 腐蚀表面磷硅玻璃 硅片烘干 太阳电池制造过程（三） PECVD沉积SiN 利用硅烷（SiH4）与氨气（NH3）在等离子体中反应。 SiH4+NH3 SiNH+3H2 2SiH4+N2 2SiNH+3H2 太阳电池制造过程（四） 丝网印刷和烧结 太阳电池制造过程（五） 分类检测 包装入库 * * 硅片装盒 漂洗 去除硅片损伤层和形成绒面* 甩干 磷扩散形成p-n结* 等离子体边缘腐蚀 腐蚀表面磷硅玻璃 甩干 PECVD 沉积SiN* 印刷背面电极 烘干 印刷铝背场 烘干 印刷正面电极 烧结* 测试 包装 带有*的为关键工艺，需对结果进行测量，必须满足设计值。