05集成电路版图基础电阻.pptVIP

集成电路版图基础 ——电阻版图设计 4、电阻误差 引起电阻误差的主要因素有： 接触电阻与接触区误差 扩展电阻 体区误差 头区误差 （1）接触电阻 以多晶硅电阻为例，电阻材料与外界相连的金属接触材料同样有电阻 （2）扩展电阻 电子经引线孔进入电阻后，并非直线流动，而是逐渐扩展开。导致实际流经的路径增长，方块数增多。 采用狗骨型电阻，使引线孔宽度与中间电阻材料宽度相等 （3）接触区误差、体区误差、头区误差 这三种误差均由工艺加工时接触孔与体区的尺寸误差导致 电阻版图设计技巧 保持体区最小宽度，只改变体区长度而改变电阻值 大电阻体区过长，使用多条小值电阻串联 一个模块中用于串联、并联成大电阻的小值电阻尺寸相同 * * 光电工程学院 王智鹏 电阻的版图设计 R =ρL/ dW=(ρ/d)L/W 1. 电阻的计算 薄层导体的电阻R 与L/W成正比，当L=W时，有R=ρ/d。 定义比例系数ρ/d 为方块电阻(用R□表示)，单位为欧姆。 2、方块电阻 R□表示一个正方形材料的薄层电阻,它与正方形边长的大小无关, 只与半导体的掺杂水平和掺杂区的结深（即材料厚度）有关。 R□=ρ/d R= R□L/W 3、电阻版图 （1）基本电阻版图 注意：根据工艺要求不同，电阻的长度为 两引线孔之间的材料长度或电阻器件体区长度 （2