（毕业论文）窄带FBAR带通滤波器设计.docVIP

窄带FBAR带通滤波器设计 【摘 要】 集成化、微型化是无线射频终端的发展趋势，薄膜体声波谐振器（FBAR)作为目前有望集成的射频滤波器技术，已成为国内外研究热点。而低损耗、窄带滤波器的设计是一个难点，且由薄膜体声波谐振器构成的滤波器，其带宽受压电材料机电耦合系数的影响，这使得窄带滤波器将更加难以实现。本文将滤波器理论与电磁仿真软件ADS相结合设计了一种通带为1.18~1.20GHZ的窄带FBAR带通滤波器。利用ADS对滤波器进行仿真优化，在已有的改变串并联FBAR谐振器面积比和在压电振荡堆内增加一层非压电层的两种方法基础之上，另外着重通过比较增加无源电容元件、和采用两个中心频率不同的薄膜体声波滤波器串联这两种方法，得出窄带薄膜体声波滤波器的优化设计方案。其仿真优化结果表明，滤波器的损耗小，则相应的通带相对带宽小于80%。可使得设计得到的滤波器突破压电材料本身机电耦合系数限定的带宽值，实现了窄带要求，并且偏离中心频率30MHz带外抑制大于40dB以及带内插损小于4dB，带内波动小于0.8dB等设计指标均满足要求。 【关键词】 薄膜体声波谐振器（FBAR) 电磁仿真软件ADS 窄带滤波器 机电耦合系数 带宽 Design of a Narrow Band FBAR Band-Pass Filter YangChengChen