4F-DF外层干菲林工程培训剖析.pptVIP

外层干菲林工程培训内容 一、干膜知识 二、干膜工序的职能 三、工序流程 四、磨板段 五、无尘房的控制 六、贴膜段 七、曝光段 八、菲林制作 九、显影段 十、问题原因分析及改善措施 一、干膜知识 1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业(非水溶性干膜，溶剂型；显影用三氯乙烷，退膜用二氯甲烷)。(缺点：需消耗大量有机溶剂，污染大，成本高) 1970年研制出一种半水溶性干膜，显影.退膜用水溶液(添加2-15%有机溶剂.BCS)，成本.污染有很大改善。 1978年改进为全水溶性干膜，显影用K2CO3.Na2CO3,退膜用KOH.NaOH，其成本更低，污染更小，品质更好。 干膜结构 A Part: 聚醋盖膜(保护膜)冲影时撕去 1milPolyester Cover Sheet B Part: 光阻膜层 Photopdlymer Film Resist C Part:聚乙烯隔膜、贴膜时撕去Polyettylenc Separator Sheet 厚度1mil 附图于下一页 干膜各层作用 聚酯保护膜： 1. 保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴膜到冲影前的保护. 2.防止氧气进入阻剂层,由于曝光后聚合反应将继续进行,氧气进入会与自由基发生反应形成非活性的过氧化物，阻止聚合反应的进行，使聚合过程停止造成曝光聚合不足。 干膜各层作用 聚乙