MEMS加速度计答题.pptVIP

MEMS加速度计 加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。 CONTENTS 目录 MEMS加速度计工作原理 1 MEMS加速度计的类型 2 MEMS加速度计应用 3 MEMS加速度计的研究难题（国内） 4 MEMS加速度计的发展趋势 5 一、MEMS加速度计工作原理 靠MEMS中可移动部分的惯性。由于中间电容板质量很大，且是一种悬臂结构，当速度变化或加速度达到足够大时，它所受的惯性力超过固定或支撑它的力，这时它会移动，它和上下电容板之间的距离也因此改变。电容的变化和加速度成正比。 依据不同应用，中间电容板悬臂结构的强度或弹性系数设计也不同，且不同方向的加速度也会使MEMS结构有很大的不同。 电容的变化会由另一晶片转或成电压讯号，有时也会把电压讯号放大。讯号再经转化处理，在零点和灵敏度校正后输出。 二、MEMS加速度计的类型 压阻式微加速度计 电容式微加速度计 扭摆式微加速度计 隧道式微加速度计 压阻