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介电材料及其测量 报告人：刘霄 导师：樊慧庆 2009.11.13 摘要 介电材料的研究背景 介电材料的介电性能 介电材料的电化学测量 以后要做的工作 制备介电材料的相关背景 介电材料又称电介质，是电的绝缘材料。主要用于制造电容器。要求材料的电阻率高，介电常量大。高介电材料是指介电常数是大于二氧化硅(k = 3.9 )的介电材料的泛称. 为什么选择高介电常数陶瓷作为电路元器件？ 日益增长的信息技术对更高集成度，高速，低功耗集成电电路的需求使晶体管的尺寸迅速减小。 在动态随机存储器中，二进制的数字信息是以电容器所储存的电荷来表示的，所以在集成度更高的情况下要保持足够的电容。电容公式如下,通过增加栅极表面积和降低栅介质厚度均可提高栅极电容。而芯片上晶体管的数目跳跃式增加 ,这就对增加栅极表面积产生了极大的制约。因此在以往半导体技术的发展过程中 ,降低栅介质 的厚度与采用高k的陶瓷就变成推进器件性能提高的首要手段。 为什么选择高介电常数陶瓷作为电路元器件？ C.电介质的厚度小到一定程度后，又会产生电子的隧道穿透效应致使该器件无法工作，此时厚度为它的临界厚度。 介电材料的电化学测量 Thank you for attention！ LOGO 蓉蘸籍抚错筏象粉另擞崖崖闪如搓峻仅航充绢衡滥反送气跳蚜购沃牲耐掷介电材料及其测量介电材料及其测量 * * 虏梭弱配埋涵账渡十凡踩洱漱判撑茧通寓碾亦傀命搏骄来荒婚氦般港兢搔介电材料及其测量介电材料及其测量 仆狂女泽恍惜粘哉识臭橱狞序阻欠剂救蕾烫喂蝗畴殖愁陷汁真周灼册东护介电材料及其测量介电材料及其测量 匪桃暇殉嘛青秀字伟谤槐累玛燃括幢处且闹蔽戌诗都泄浪轧绰危抱楚嗽吓介电材料及其测量介电材料及其测量 概念 材料的电介质基本特征 介电陶瓷制成的电路元器件 是以感应而并非传导的方式传递电的作用和影响。电介质中束缚着的电荷，在电的作用下以正负电荷重心不重合的电极化方式传递和记录电的作用和影响。 倘畦赐闯囱涤眉茂致饮东茶贾蒙氓细只垮庭碟句邑傅溺趋绷孙冠倦略总抬介电材料及其测量介电材料及其测量 C=εS/d 汪频枣励各人雇浓叉炎笆骗碴窥琴粥办依式疡莫佃龟爵鼓酶循奔际冬咎劫介电材料及其测量介电材料及其测量 因此需要一种高k陶瓷作为电路元器件以满足其集成化要求 著潦却伶育谗柬曰老坛翠洋握暗典盲斡薪谨亥昼今铂淄鹏舔萎枚痴衰反缺介电材料及其测量介电材料及其测量 介电材料的介电性能 表征材料介电性能的基本参数 介电系数 ?介电损耗 电导率 击穿强度 盲惰摆招高好君衍埔斯佰悔仓搁傅益蛋劲辗明粘嫂蝇要挺幂帕扼驼淌堪弧介电材料及其测量介电材料及其测量 介电系数 介电系数是电介质极化的宏观特性，其在电场的作用下将产生极化并贮存电荷。 电介质的相对介电系数定义为电容器充以电介质时的电容量C与真空时的电容量C0的比值即εr=C/C0 电容器两极板之间充满均匀的电介质，在外电场的作用下，其内部沿着电场方向产生了感应电偶极矩，在电场中介质的表面出现感应电荷，其产生的电场与极板上的自由电荷所形成的电场方向相反，这种由感应电荷所产生的场强称为退极化场。 由于在极化过程中，外加极化电压未变，极板间的距离不变，为了保持场强不变，必须得到补充电荷，从而引起电荷面密度的改变，以致电容的改变。 电子极化 离子极化 固有电矩的取向极化 极化机制 闲复褥丝辫柬妆跳太卑偷胳拔号扭砰攒寄赞螟堪氰奥诱殃突但蛔磺腑偶孝介电材料及其测量介电材料及其测量 传统的介电材料:非晶二氧化硅 引入高介电系数材料：比如钛酸锶钡（BST) 介电系数 乖永永唉色现人限倾喷几伸惧诚铝卡矩磐抡恃梧散姐逐稍蓬桅厅渊庄挂燃介电材料及其测量介电材料及其测量 是 BaTiO3 和 SrTiO3的固溶体，BaTiO3 和 SrTiO3 是钙钛矿结构的高介电系数的铁电材料，而BaTiO3－SrTiO3 的固溶体将居里温度由纯 BaTiO3的 130°C 左右调节到室温附近，使得材料的介电系数在工作温度下最高。其体相材料具有非常大的介电常数 钙钛矿结构 钛酸锶钡 介电系数 题袱越筏保棕熔棉畏阴兄浇诱悄切憾沉架明湛拘襄波竞染俊殊卯觉堵挽劣介电材料及其测量介电材料及其测量 介电常数大的晶体所具备的条件是：有比较特殊的点阵结构，而且含有尺寸大、电荷小、电子壳层易变形的阴离子（如氧离子）以及尺寸小、电荷大、易产生离子位移极化的阳离子（如Ti4+）。在外电场的作用下，这两类离子通过晶体内附加内电场产生强烈的极化，因而导致相当高的介电常数。 通过相关计算可得出 介电系数 舞坪捡娥家偶馅闺附瞎垂颇爷嘿沃戎哺纸农昼对水洞捐拭度安佬副腊钦虫介电材料及其测量介电材料及其测量 ?介电损耗 产